[发明专利]谐振器以及谐振装置

说明书

谐振装置(1)具备谐振器(10)、上盖(30)和下盖(20)，谐振器具有具备基部(130)和多个振动臂(135)的振动部(120)、保持部(140)以及保持臂(111、112)，下盖(20)具有在相邻的2个振动臂(135B、135C)之间突起的突起部(50)，突起部(50)具有绝缘膜(235)，振动臂(135)具有锤部(G)，锤部(G)具有形成在绝缘膜(235)上的导电膜(236)，在多个振动臂(135)延伸的方向上，与相邻的2个振动臂(135B、135C)中的任意一个的锤部(G)与保持部(140)之间的第一距离(L1)相比，锤部(G)与突起部(50)之间的第二距离(L2)较大。

技术领域

本发明涉及谐振器以及谐振装置。

背景技术

作为用于在电子设备中实现计时功能的器件，使用压电振子等谐振器。伴随着电子设备的小型化，谐振器也被要求小型化，使用MEMS(Micro Electro MechanicalSystems：微机电系统)技术制造的谐振器(以下，也称为“MEMS振子”。)被关注。

在MEMS振子中，有时由于制造偏差而在谐振频率中产生偏差。因此，在MEMS振子的制造中或制造后，通过追加蚀刻等来调整频率。

例如，在专利文献1中公开了如下的结构：在具有多个振动臂的振子中，分别减少设置在振动臂的前端侧的粗调用的质量部和设置在振动臂的基端侧的微调用的质量部，由此来调整谐振频率。

专利文献1：日本特开2012-065293号公报

专利文献1所记载的质量部具有绝缘体层和形成在该绝缘体层上的导电层。在MEMS振子中，在形成这样的质量部并使用离子束等来调整谐振频率的情况下，有时会导致绝缘体层带电。在MEMS振子上的绝缘体层带电的状态下，若MEMS振子振动，则由于绝缘体层中的电荷而导致产生库仑力，导致谐振频率变动。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于抑制在谐振器上的绝缘体层或者绝缘体层上的导电层中带电的电荷给谐振频率带来的影响。

本发明的一个方式的谐振装置具备谐振器、上盖和下盖，谐振器具有：振动部，具备基部和多个振动臂，多个振动臂具有与基部连接的固定端和与基部分离地设置的开放端，多个振动臂从固定端延伸到开放端，基部和多个振动臂具有压电膜、下部电极、上部电极以及绝缘膜，下部电极和上部电极被设置成将该压电膜夹于之间而对置，绝缘膜被设置成覆盖上部电极；保持部，向多个振动臂的开放端侧延伸地设置；以及保持臂，将振动部和保持部连接，上盖与谐振器的上部电极对置地设置，下盖与谐振器的下部电极对置地设置，下盖具有在多个振动臂中的相邻的2个振动臂之间突起的突起部，突起部具有绝缘膜，振动臂具有锤部，锤部设置在开放端侧，锤部的宽度比振动臂中的其他部位的宽度宽，锤部具有形成在绝缘膜上的导电膜，在俯视下盖中的与下部电极对置的面时，在多个振动臂延伸的方向上，与相邻的2个振动臂中的任意一个振动臂的锤部与保持部之间的第一距离相比，该任意一个振动臂的锤部与突起部之间的第二距离较大。

根据本发明，能够抑制在谐振器上的绝缘体层或者绝缘体层上的导电层中带电的电荷给谐振频率带来的影响。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的第一实施方式的谐振装置的外观的立体图。

图2是示意性地表示本发明的第一实施方式的谐振装置的构造的分解立体图。

图3是取下上盖后的本发明的第一实施方式的谐振器的俯视图。

图4是沿着图2的AA′线的剖视图。

图5是沿着图3的BB′线的剖视图。

图6是沿着图3的CC′线的剖视图。

图7A是表示本发明的第一实施方式的谐振装置的工艺流程的一个例子的图。