[发明专利]谐振器以及谐振装置

权利要求书

1.一种谐振装置，其中，

所述谐振装置具备谐振器、上盖和下盖，

所述谐振器具有：

振动部，具备基部和多个振动臂，所述多个振动臂具有与所述基部连接的固定端和与所述基部分离地设置的开放端，所述多个振动臂从所述固定端延伸到所述开放端，所述基部和所述多个振动臂具有压电膜、下部电极、上部电极以及绝缘膜，所述下部电极和所述上部电极被设置成将所述压电膜夹于之间而对置，所述绝缘膜被设置成覆盖所述上部电极；

保持部，向所述多个振动臂的所述开放端侧延伸地设置；以及

保持臂，将所述振动部和所述保持部连接，

所述上盖与所述谐振器的所述上部电极对置地设置，

所述下盖与所述谐振器的所述下部电极对置地设置，

所述下盖具有在所述多个振动臂中的相邻的2个振动臂之间突起的突起部，所述突起部具有绝缘膜，

所述振动臂具有锤部，所述锤部设置在所述开放端侧，所述锤部的宽度比所述振动臂中的其他部位的宽度宽，所述锤部具有形成在所述绝缘膜上的导电膜，

在俯视所述下盖中的与所述下部电极对置的面时，在所述多个振动臂延伸的方向上，与所述相邻的2个振动臂中的任意一个振动臂的所述锤部与所述保持部之间的第一距离相比，所述任意一个振动臂的所述锤部与所述突起部之间的第二距离较大。

2.根据权利要求1所述的谐振装置，其中，

所述第二距离为所述第一距离的2倍以上。

3.根据权利要求1或2所述的谐振装置，其中，

所述第二距离为20μm以上。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的谐振装置，其中，

所述多个振动臂为3个振动臂，中央的振动臂与外侧的振动臂以相反相位进行振动。

5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的谐振装置，其中，

所述多个振动臂为4个振动臂，内侧的2个振动臂与外侧的2个振动臂以相反相位进行振动。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的谐振装置，其中，

形成于所述锤部的所述导电膜与所述上部电极或者所述下部电极电连接。

7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的谐振装置，其中，

所述保持部具有绝缘膜和形成在所述绝缘膜上的导电膜，

所述保持部的所述导电膜与所述上部电极或者所述下部电极电连接。

8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的谐振装置，其中，

所述突起部还具有形成在所述绝缘膜上的导电膜，

所述突起部的所述导电膜与所述上部电极或者所述下部电极电连接。

9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的谐振装置，其中，

所述突起部在所述相邻的2个振动臂中的所述锤部以外的部位彼此之间突起，

所述突起部与所述振动臂中的所述锤部以外的部位之间的第三距离比所述第一距离小。