[发明专利]阀装置

权利要求书

1.一种阀装置，其中，

所述阀装置具有：

阀体，其划定流路；

阀芯，其设为能够对所述阀体的流路进行开闭；

操作构件，其操作所述阀芯，设为能够在预先设定的使所述阀芯关闭流路的闭位置与预先设定的使所述阀芯打开流路的开位置之间移动；

主致动器，其承受所供给的驱动流体的压力，使所述操作构件向所述开位置或闭位置移动；

调整用致动器，其配置为所述主致动器产生的力的至少一部分作用于该调整用致动器，用于对定位于所述开位置的所述操作构件的位置进行调整；以及

压力稳定化机构，其设于所述驱动流体向所述主致动器的供给路径，用于抑制向所述主致动器供给的所述驱动流体的压力的变动。

2.根据权利要求1所述的阀装置，其中，

所述压力稳定化机构包括对所供给的所述驱动流体的压力进行调压的压力调节器。

3.根据权利要求1或2所述的阀装置，其中，

所述主致动器使所述操作构件向所述开位置移动，

所述操作构件由所述主致动器定位于所述开位置，所述调整用致动器利用该调整用致动器的顶端部承受对所述操作构件作用的力而对该操作构件的移动进行限制，并且调整该操作构件的位置。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的阀装置，其中，

所述阀装置具有内置所述主致动器以及所述调整用致动器的壳体，

在所述壳体内形成有流通路径，该流通路径将通过了所述压力稳定化机构的所述驱动流体向所述主致动器供给，

所述流通路径分离地形成，以使在该流通路径内流通的驱动流体的压力不作用于所述调整用致动器。

5.根据权利要求4所述的阀装置，其中，

所述主致动器具有环状的活塞，

所述调整用致动器以及操作构件与所述环状的活塞呈同心状地配置，

所述流通路径具有与所述调整用致动器呈同心状地配置而成的流通路径。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的阀装置，其中，

所述调整用致动器具有根据供电而伸缩的驱动源。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的阀装置，其中，

所述调整用致动器包括利用了压电元件的伸缩的致动器。

8.根据权利要求7所述的阀装置，其中，

所述调整用致动器具备具有基端部和顶端部的壳体、以及收纳于该壳体内并在所述基端部与所述顶端部之间层叠的压电元件，利用所述压电元件的伸缩而使该壳体的所述基端部与所述顶端部之间的全长伸缩。

9.根据权利要求1～6中任一项所述的阀装置，其中，

所述调整用致动器包括具有电驱动型聚合物作为驱动源的致动器。