[发明专利]单片体的制造方法在审
| 申请号: | 201880089270.0 | 申请日: | 2018-12-21 |
| 公开(公告)号: | CN111712902A | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
| 发明(设计)人: | 杉下芳昭 | 申请(专利权)人: | 琳得科株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/301 | 分类号: | H01L21/301;B23K26/53 |
| 代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;敖莲 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 单片 制造 方法 | ||
1.一种单片体的制造方法,其使被粘物单片化而形成单片体,其特征在于,实施:
片粘贴工序,将添加有通过赋予规定的能量而膨胀的膨胀性微粒的粘接片粘贴于所述被粘物;
改性部形成工序,其在所述片粘贴工序之前或之后,在所述被粘物上形成改性部,并在所述被粘物上形成被该改性部围绕或者被该改性部和所述被粘物的外缘围绕的单片化预定区域;以及
粘接力减小工序,减小所述粘接片对所述被粘物的粘接力,
在所述粘接力减小工序中,对所述粘接片局部地赋予所述能量,使被赋予该能量的粘接片局部中所添加的所述膨胀性微粒膨胀,减小该粘接片局部与所述被粘物的粘接面积,减小该粘接片局部对所述被粘物的粘接力,并且使粘贴于该粘接片局部的所述单片化预定区域位移而形成所述单片体。
2.一种单片体的制造方法,其使被粘物单片化而形成单片体,其特征在于,
预先在所述被粘物上粘贴粘接片,所述粘接片添加有通过赋予规定的能量而膨胀的膨胀性微粒,
所述制造方法实施:
改性部形成工序,在所述被粘物上形成改性部,并在所述被粘物上形成被该改性部围绕或者被该改性部和所述被粘物的外缘围绕的单片化预定区域;以及
粘接力减小工序,减小所述粘接片对所述被粘物的粘接力,
在所述粘接力减小工序中,对所述粘接片局部地赋予所述能量,使被赋予该能量的粘接片局部中所添加的所述膨胀性微粒膨胀,减小该粘接片局部与所述被粘物的粘接面积,减小该粘接片局部对所述被粘物的粘接力,并且使粘贴于该粘接片局部的所述单片化预定区域位移而形成所述单片体。
3.一种单片体的制造方法,其使被粘物单片化而形成单片体,其特征在于,
在所述被粘物上形成有改性部,并形成有被该改性部围绕或者被该改性部和所述被粘物的外缘围绕的单片化预定区域,
所述制造方法实施:
片粘贴工序,将添加有通过赋予规定的能量而膨胀的膨胀性微粒的粘接片粘贴于所述被粘物;
粘接力减小工序,减小所述粘接片对所述被粘物的粘接力,
在所述粘接力减小工序中,对所述粘接片局部地赋予所述能量,使被赋予该能量的粘接片局部中所添加的所述膨胀性微粒膨胀,减小该粘接片局部与所述被粘物的粘接面积,减小该粘接片局部对所述被粘物的粘接力,并且使粘贴于该粘接片局部的所述单片化预定区域位移而形成所述单片体。
4.一种单片体的制造方法,其使被粘物单片化而形成单片体,其特征在于,
预先在所述被粘物上粘贴添加有通过赋予规定的能量而膨胀的膨胀性微粒的粘接片,且预先在所述被粘物上形成改性部,并形成有被该改性部围绕或者被该改性部和所述被粘物的外缘围绕的单片化预定区域,
所述制造方法实施:
粘接力减小工序,减小所述粘接片对所述被粘物的粘接力,
在所述粘接力减小工序中,对所述粘接片局部地赋予所述能量,使被赋予该能量的粘接片局部中所添加的所述膨胀性微粒膨胀,减小该粘接片局部与所述被粘物的粘接面积,减小该粘接片局部对所述被粘物的粘接力,并且使粘贴于该粘接片局部的所述单片化预定区域位移而形成所述单片体。
5.根据权利要求3或权利要求4所述的单片体的制造方法,其特征在于,
所述改性部包括:沿着第一方向的第一改性部、和沿着与该第一方向交叉的第二方向的第二改性部,
在所述粘接力减小工序中,实施:第一粘接力减小工序,在赋予了所述能量的位置上形成该能量的赋予区域沿着规定的方向延伸的线状赋予区域,使该线状赋予区域以与所述第一方向平行的方式移动;以及第二粘接力减小工序,使该线状赋予区域以与所述第二方向平行的方式移动。
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