[发明专利]离子化装置和质谱分析装置

说明书

一种离子化装置(1)以及具备该离子化装置(1)的质谱分析装置(60)，其中，该离子化装置(1)包括：离子化室(10)；试样气体导入口(14)，其设于离子化室(10)，用于导入试样气体；电子束释放部(11)，其用于朝向离子化室(10)释放电子束；电子束通过口(10a、10b)，其形成于离子化室(10)的壁面的、供从电子束释放部(11)释放的电子束通过的路径上，该电子束通过口的在该路径的方向上的长度比与该方向正交的截面的宽度长；以及离子出口(10c)，其设于离子化室(10)，用于将通过照射电子束而生成的试样气体的离子释放。

技术领域

本发明涉及一种用于将试样气体离子化的离子化装置，更详细而言，涉及一种通过电子离子化(EI：Electron Ionization)法、化学离子化(CI：ChemicalIonization)法或者负化学离子化(NCI：Negative Chemical Ionization)法将试样气体离子化的离子化装置。另外，涉及一种具备这样的离子化装置的质谱分析装置。

背景技术

在像气相色谱-质谱联用仪(GC-MS)这样使试样气体离子化而进行分析的质谱分析装置中，使用通过电子离子化法、化学离子化法或者负化学离子化法使试样气体离子化的离子化装置。在电子离子化法中，向离子化室内导入试样气体并照射电子束，从而将试样气体中的分子离子化(例如专利文献1)。在化学离子化法中，将反应气体连同试样气体一起向离子化室内导入，照射电子束，从而使反应气体中的分子离子化，而且，通过使该离子与试样气体中的分子发生反应，从而使试样气体中的分子离子化。负化学离子化有多种离子化机理，例如热电子被试样气体中的分子捕获而生成负离子。生成的离子被向四极滤质器等质量分离部输送，被根据质荷比而分离开并被检测。

在图1中示出通过电子离子化法将试样气体离子化的以往的离子化装置100的概略结构。在该离子化装置100中，向配置于被真空排气了的腔室(未图示)内的离子化室110内导入试样气体而进行离子化。离子化室110呈组合板状构件而成的箱状。在离子化室110的外侧隔着离子化室110配置有两个灯丝111、112。在使用时，向一个灯丝111供给预定的电流而生成热电子，并朝向另一个灯丝112释放。在离子化室110的壁面的、连结这些灯丝111、112的电子束路径上形成有电子束通过口110a、110b。另外，在离子化室110的另一壁面形成有离子出口110c，在其外侧配置有使从离子化室110取出的离子会聚而向质量分离部等输送的离子输送光学系统120。在离子化室110内配置有反射极电极113，通过向该反射极电极113施加与测定对象离子相同极性的直流电压，而在离子化室110内形成将离子推向离子出口110c的电场，由此自离子化室110释放离子。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-157523号公报

专利文献2：日本特开2009-210482号公报

发明内容

发明要解决的问题

在质谱分析装置中，要求提高测定灵敏度。上述电子离子化法是向存在于离子化室110内的试样气体中的分子照射电子束而生成离子的方式，因此为了提高测定灵敏度，考虑提高离子化室110内的试样气体的分子数密度而增加离子的生成量。