[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，对基板供给处理液，且所述基板处理装置包括：

喷嘴管，朝所述基板喷出处理液；

送液管，连接于所述喷嘴管，并朝所述喷嘴管输送处理液；

抽吸管，在比所述送液管更靠下游侧处连接于所述喷嘴管，并对所述喷嘴管内的处理液进行抽吸；以及

处理部，对所述基板进行保持，通过自所述喷嘴管喷出的处理液来进行所述基板的处理，且

至少自所述抽吸管的连接位置起下游侧的所述喷嘴管的内径为所述抽吸管的内径以下。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述送液管的内径为自所述抽吸管的连接位置起上游侧的所述喷嘴管的内径以下。

3.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其中

自所述抽吸管的连接位置起下游侧的所述喷嘴管的内径小于自所述连接位置起上游侧的内径。

4.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其中

所述喷嘴管的内径、所述送液管的内径、及所述抽吸管的内径为相同。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板处理装置，包括：

喷射器，对所述抽吸管内进行抽吸；

开闭阀，对连接所述抽吸管与所述喷射器的路径进行开闭；以及

流体箱，与所述处理部邻接地配置，收容处理液相关设备，且

所述开闭阀配置于所述流体箱附近。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的基板处理装置，其中

所述处理液为发泡状态的液体。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的基板处理装置，其中

所述送液管兼用作对所述喷嘴管内的处理液进行抽吸的管。

8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其中，

自所述送液管抽吸的处理液与自所述抽吸管抽吸的处理液分别被回收至不同的收集罐。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的基板处理装置，其中

所述喷嘴管沿着铅垂方向延伸。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的基板处理装置，其中

在停止自所述送液管输送处理液前，开始自所述抽吸管抽吸所述喷嘴管内的处理液。