[发明专利]工件的切断方法及线锯有效
| 申请号: | 201880086941.8 | 申请日: | 2018-12-11 |
| 公开(公告)号: | CN111670088B | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
| 发明(设计)人: | 小林健司 | 申请(专利权)人: | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号: | B24B27/06 | 分类号: | B24B27/06;B28D5/04;B28D7/04;H01L21/304 |
| 代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;谢顺星 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 工件 切断 方法 | ||
1.一种工件的切断方法,其通过线锯进行,通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列,并通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动,一边将工件向所述金属线列切入进给,从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断,其中,所述工件经由贴附于该工件的接合部件而通过工件保持机构进行保持,其特征在于,
在所述工件的切断结束后,且在从所述金属线列拉出所述工件前,将另外设置于所述工件与所述工件保持机构之间的金属制的金属线磨损部件向所述金属线列切入进给,从而使所述固定磨粒金属线磨损。
2.根据权利要求1所述的工件的切断方法,其特征在于,使用维氏硬度(HV)为150以下的部件作为所述金属线磨损部件。
3.根据权利要求1所述的工件的切断方法,其特征在于,使用以碳含量为0.25质量%以下的钢为原料的部件作为所述金属线磨损部件。
4.根据权利要求2所述的工件的切断方法,其特征在于,使用以碳含量为0.25质量%以下的钢为原料的部件作为所述金属线磨损部件。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的工件的切断方法,其特征在于,使用安装于所述接合部件的侧面的部件作为所述金属线磨损部件。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的工件的切断方法,其特征在于,使用安装于所述工件保持机构的部件作为所述金属线磨损部件。
7.一种线锯,其具有金属线列及工件进给机构,所述金属线列通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成,所述工件进给机构一边通过工件保持机构经由接合部件保持工件,一边将所述工件按压至所述金属线列,所述线锯通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动,一边使用所述工件进给机构将所述工件向所述金属线列切入进给,从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断,其特征在于,
所述线锯还具有使所述固定磨粒金属线磨损的金属制的金属线磨损部件,所述金属线磨损部件设置于所述工件与所述工件保持机构之间,在所述工件的切断结束后,且在从所述金属线列拉出所述工件前,将所述金属线磨损部件向所述金属线列切入进给,从而使所述固定磨粒金属线磨损。
8.根据权利要求7所述的线锯,其特征在于,所述金属线磨损部件是维氏硬度(HV)为150以下的部件。
9.根据权利要求7所述的线锯,其特征在于,所述金属线磨损部件以碳含量为0.25质量%以下的钢为原料。
10.根据权利要求8所述的线锯,其特征在于,所述金属线磨损部件以碳含量为0.25质量%以下的钢为原料。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的线锯,其特征在于,所述金属线磨损部件安装于所述接合部件的侧面。
12.根据权利要求7至10中任一项所述的线锯,其特征在于,所述金属线磨损部件安装于所述工件保持机构。
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