[发明专利]半导体装置、半导体装置的制造方法及电力转换装置在审

专利信息
申请号: 201880086471.5 申请日: 2018-01-19
公开(公告)号: CN111602232A 公开(公告)日: 2020-08-28
发明(设计)人: 大岛功 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L21/52 分类号: H01L21/52
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 何立波;张天舒
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 半导体 装置 制造 方法 电力 转换
【说明书】:

在绝缘基板(1)的电极(3)之上环状地形成第1定位树脂(4)。在第1定位树脂(4)的环的内侧,在电极(3)之上配置厚度比第1定位树脂(4)薄的第1板状焊料(5)。在第1板状焊料(5)之上配置半导体芯片(6)。将第1板状焊料(5)熔融而将半导体芯片(6)的下表面接合于电极(3)。

技术领域

本发明涉及半导体装置、半导体装置的制造方法及电力转换装置。

背景技术

与工业设备、电力铁道、汽车的发展相伴,它们所使用的半导体装置的使用温度也随之提高。近年来,积极地进行在高温下也进行工作的半导体装置的开发,半导体装置的小型化、高耐压化、高电流密度化不断发展。特别地,SiC或GaN等宽带隙半导体比Si带隙大,期待使用了宽带隙半导体的半导体装置的高耐压化、小型化、高电流密度化、高温工作。

就这样的半导体装置而言,使用焊料将半导体芯片接合于绝缘基板的电极。此时,通过在半导体芯片的安装位置的周围设置阻焊剂,从而能够对熔融的焊料的润湿扩展进行抑制(例如,参照专利文献1)。

专利文献1:日本特开2001-298033号公报

发明内容

但是,就通常的阻焊剂而言,不能够进行熔融前的板状焊料的定位。因此,当前主要使用碳制的夹具来进行半导体芯片和板状焊料的定位。但是,在生产半导体芯片的形状及配置不同的其它品种时,需要每次制作夹具,存在生产成本变高,生产率低这样的问题。

本发明就是为了解决上述那样的课题而提出的,其目的在于,得到能够降低生产成本,使生产率提高的半导体装置、半导体装置的制造方法及电力转换装置。

本发明涉及的半导体装置的制造方法的特征在于,具有如下工序:在绝缘基板的电极之上环状地形成第1定位树脂;在所述第1定位树脂的环的内侧,在所述电极之上配置厚度比所述第1定位树脂薄的第1板状焊料;在所述第1板状焊料之上配置半导体芯片;以及将所述第1板状焊料熔融而将所述半导体芯片的下表面接合于所述电极。

发明的效果

在本发明中,在第1定位树脂的环的内侧,在电极之上配置厚度比第1定位树脂薄的第1板状焊料。由此,能够以不使用专用的夹具的方式,通过第1定位树脂进行第1板状焊料的定位。其结果,能够降低生产成本,使生产率提高。

附图说明

图1是表示实施方式1涉及的半导体装置的剖视图。

图2是表示实施方式1涉及的第1及第2定位树脂的俯视图。

图3是表示实施方式1涉及的半导体装置的制造方法的剖视图。

图4是表示实施方式1涉及的半导体装置的制造方法的剖视图。

图5是表示实施方式2涉及的第1定位树脂的俯视图。

图6是表示电力转换系统的结构的框图,该电力转换系统应用了实施方式3涉及的电力转换装置。

具体实施方式

参照附图,对实施方式涉及的半导体装置、半导体装置的制造方法及电力转换装置进行说明。对相同或对应的结构要素标注相同标号,有时省略重复的说明。

实施方式1.

图1是表示实施方式1涉及的半导体装置的剖视图。图2是表示实施方式1涉及的第1及第2定位树脂的俯视图。本实施方式涉及的半导体装置例如为广泛用于家电用途、工业用途、汽车用途、电车用途等的功率模块。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱电机株式会社,未经三菱电机株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201880086471.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top