[发明专利]用于测试电子器件的测试头的接触探针

说明书

用于测试电子器件的测试头的接触探针(10)包括由第一导电材料制成并沿纵轴(H‑H)延伸的杆状主体(10')和由主体(10')在其端部(10a)处支撑的接触尖端(11)，接触尖端(11)由与主体(10')的第一导电材料不同的第二导电材料制成，接触尖端(11)包括接触区(11c)，该接触区适于与被测器件的接触垫进行机械和电接触，其中主体(10')和接触尖端(11)包括彼此接触的相应接触表面。适当地，接触表面彼此互补并且成形为包括彼此接合的相应连接元件，这种连接元件呈从主体(1)和接触尖端(11)中的一个的接触表面突出的至少一个突出元件(13p)以及呈在主体(10′)和接触尖端(11)中的另一个中形成的至少一个相应的凹部(13r)的形式。

技术领域

本发明涉及一种用于集成在半导体晶片上的电子器件的测试设备的测试头的接触探针，并且以下参考该应用领域进行描述，其唯一目的是简化其说明。

背景技术

众所周知，测试头本质上是一种适于将微结构、特别是集成在晶片上的电子器件的多个接触垫与执行其功能测试、特别是电气测试或一般而言的测试的测试机的相应通道电连接的装置。

在集成器件上进行的测试特别是在生产阶段就对检测和隔离有缺陷的电路特别有用。因此，通常在将晶片切割并组装到芯片容纳封装物之前，将探头用于对集成在晶片上的设备进行电测试。

通常，探头包括大量的接触元件或接触探针，这些接触元件或接触探针由具有良好的电和机械性能的特殊合金形成并设有至少一个用于被测器件的相应多个接触垫的接触部分。

所谓的“垂直探头(vertical probe head)”主要包括由至少一对基本上为板状且彼此平行的板或导引件保持的多个接触探针。这些导引件设有合适的孔，并且彼此间隔一定距离布置，以便为接触探针的运动和可能的变形留出自由空间或气隙。特别地，该对导引件包括上导引件和下导引件，这两个导引件均设有相应的导引孔，接触探针在导引孔中沿轴向滑动，接触探针通常由具有良好电和机械特性的特殊合金线制成。

通过将探头压在器件本身上，可确保接触探针与被测器件的接触垫之间的良好连接，可在上下导引件内形成的导引孔内移动的接触探针在所述按压接触期间在两个导引件之间的气隙内部弯曲并且在导引孔内滑动。

此外，如图1所示，通过探针本身或其导引件的适当配置，可以帮助接触探针在气隙中弯曲，其中，为简化说明，已经示出了通常包括在探头中的多个接触探针中的单个接触探针，所示出的探头是所谓的移位板型。

特别地，图1示意性地示出了探头1，探头1包括至少一个上板或导引件2和下板或导引件3，其具有相应的上导引孔2a和下导引孔3a，至少一个接触探针4在上导引孔2a和下导引孔3a中滑动。

接触探针4具有至少一个接触端或尖端4a，术语“端或尖端”在此并且在以下指示端部，不一定是尖的。特别地，接触尖端4a抵靠在被测器件5的接触垫5a上，从而在该器件与测试设备(未示出)之间进行机械和电接触，所述探头构成测试设备的端元件。

在某些情况下，接触探针在上导引件上固定在探头本身上：这种探头被称为“阻塞探头(blocked probe head)”。可替代地，探头与未阻塞的探针一起使用，即，探针没有被固定地紧固，而是通过微接触板保持与板对接：这种探头被称为“未阻塞探头(unblockedprobe head)”。微接触板通常被称为“空间变换器(space transformer)”，因为除与探针接触外，它还允许相对于被测器件上存在的接触垫在空间上重新分布形成在其上的接触垫，特别是放宽了接触垫本身的中心之间的距离限制。

在这种情况下，如图1所示，接触探针4具有朝向空间变换器6的多个接触垫6a的另一个接触尖端4b，在实践中被表示为接触头。与通过将接触探针4的接触头4b压在空间变换器6的接触垫6a上而与被测器件的接触类似地来确保探针与空间变换器之间的良好电接触。