[发明专利]用于测试电子器件的测试头的接触探针

权利要求书

1.一种用于测试电子器件的测试头的接触探针(10)，所述接触探针(10)包括杆状主体(10')以及由所述主体(10')在其端部(10a)支撑的接触尖端(11)，所述主体(10')由第一导电材料制成并且沿着纵轴(H-H)延伸，所述接触尖端(11)由不同于所述主体(10')的所述第一导电材料的第二导电材料制成，所述接触尖端(11)包括适于与被测器件的接触垫进行机械和电接触的接触区域(11c)，其中，所述主体(10')和所述接触尖端(11)包括彼此接触的相应接触表面，所述接触表面彼此互补并且成形为包括彼此接合的相应连接元件，并且其中，所述连接元件呈从所述主体(10')和所述接触尖端(11)中的一个的所述接触表面突出的至少一个突出元件(13p)以及在所述主体(10')和所述接触尖端(11)中的另一个中形成的至少一个相应的凹部(13r)的形式。

2.根据权利要求1所述的接触探针(10)，其中，所述接触尖端(11)的最大横截面等于所述主体(10')的最大横截面。

3.根据权利要求1或2所述的接触探针(10)，其中，所述突出元件(13p)和所述凹部(13r)具有至少一个弧形部分。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的接触探针(10)，其中，所述接触尖端(11)包括至少一个钝化部分。

5.根据前述权利要求中任一项所述的接触探针(10)，其中，所述接触尖端(11)的一部分的至少一个横截面尺寸小于所述主体(10')的对应横截面尺寸，所述尺寸是沿着与所述纵轴(H-H)正交的横截面尺寸测量的。

6.根据权利要求5所述的接触探针(10)，其中，所述接触尖端(11)包括减薄部分(14)，所述减薄部分(14)沿着所述纵轴(H-H)延伸并且具有与所述接触区域(11c)的延伸部相对应的基本上恒定的横截面。

7.根据权利要求6所述的接触探针(10)，其中，所述减薄部分(14)具有沿着所述纵轴(H-H)测量的介于30μm至600μm之间的长度。

8.根据权利要求6或7所述的接触探针(10)，其中，所述减薄部分(14)相对于所述主体(10')的对称轴居中。

9.根据前述权利要求中的任一项所述的接触探针(10)，其中，所述主体(10')的所述第一导电材料是铜。

10.根据前述权利要求中的任一项所述的接触探针(10)，其中，所述接触尖端(11)的所述第二导电材料选自铑、钯、铱、铂或它们的合金。

11.根据前述权利要求中的任一项所述的接触探针(10)，其中，所述突出元件(13p)具有沿着所述纵轴(H-H)测量的介于10μm至100μm之间的长度。

12.根据前述权利要求中的任一项所述的接触探针(10)，其中，所述接触区域(10c)仅包含在所述接触尖端(11)中。

13.根据前述权利要求中任一项所述的接触探针(10)，其中，所述接触尖端(11)是锥形的。

14.根据前述权利要求中任一项所述的接触探针(10)，其中，所述主体(10')和所述接触尖端(11)的横向尺寸是重合的。

15.一种用于测试电子器件的测试头，所述测试头包括至少一个导引件，所述导引件设置有适于容纳相应的多个接触探针的多个导引孔，所述测试头的特征在于，所述接触探针中的至少一个是根据前述权利要求中的任一项制造的。