[发明专利]铸模及石英玻璃坩埚的制造方法

说明书

本发明为一种铸模，其用于通过旋转模塑法制造石英玻璃坩埚，在所述铸模的内表面的至少直体部上具有相对于铸模旋转轴为同心圆形的多个槽，且该同心圆形的多个槽为不贯穿所述铸模的非贯穿槽。由此，提供一种铸模，该铸模在用于通过旋转模塑法制造石英玻璃坩埚的铸模中，具有形成石英粉成型体时使石英粉不易滑落的内表面。

技术领域

本发明涉及一种用于制造石英玻璃坩埚的铸模(mold)，及使用了该铸模的石英玻璃坩埚的制造方法。

背景技术

作为用于单晶硅提拉的石英玻璃坩埚的制造方法，已知有旋转模塑法。该方法为使沿着旋转的铸模的内表面而沉积的石英粉加热熔融，将其玻璃化并成型为坩埚的形状的方法(例如，专利文献1)。

旋转模塑法中，在将石英玻璃坩埚熔融之前，将石英粉成型为规定的形状，成型操作通过将石英粉喷在高速旋转的铸模直体部内表面并利用离心力使石英粉沉积在直体部而进行。

在石英粉成型体的成型初始阶段中，喷涂的石英粉在铸模内表面滑动，下落并沉积在铸模的小R部(是指直体部的正下方的R部，底部的曲面部(大R部)与直体部之间的部分)。石英粉积聚在沉积的石英粉上，一旦石英粉附在铸模直体部内表面，则之后喷涂的石英粉会变得不易滑落，因此可使石英粉附在目标位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-026609号公报

发明内容

本发明要解决的技术问题

例如，在为仅将种类与基底层不同的石英原料粉成型在直体部外层的规定范围内的坩埚的情况下，需要回收沉积在小R部(直体部的正下方的R部)及规定范围外的直体部的石英粉。

由于所有回收的石英粉均被丢弃，因此存在附在规定范围外的石英粉越多，则规定范围的成型所需的石英粉的使用量越多，制造成本变得越大的问题。此外，还存在规定范围外的石英粉越多，则回收石英粉的时间越长，进而导致生产性下降的问题。

本发明鉴于上述情况而成，其目的在于提供一种铸模，其在用于通过旋转模塑法制造石英玻璃坩埚的铸模中，具有形成石英粉成型体时使石英粉不易滑落的内表面。

解决技术问题的技术手段

本发明为了解决上述技术问题而进行，本发明提供一种铸模，其用于通过旋转模塑法制造石英玻璃坩埚，所述铸模的特征在于，在所述铸模的内表面的至少直体部上具有相对于铸模旋转轴为同心圆形的多个槽，且该同心圆形的多个槽为不贯穿所述铸模的非贯穿槽。

由于本发明的铸模中存在上述槽，因此铸模的内表面成为沉积石英粉的形状。此外，由此，石英粉沉积在铸模内表面的槽中，石英粉的附着性变得良好。因此，能够抑制铸模的内表面上的石英粉的滑落，由此可有效地使石英粉附在目标位置，能够减少原料粉的使用量。进一步，缩短了回收落在规定范围外的石英粉的作业时间，生产性得以提高。

此时，优选所述同心圆形的多个槽的宽度为0.3mm以上2.5mm以下，深度为0.2mm以上4mm以下，间距(pitch)为3mm以上20mm以下。

通过在铸模的内表面上形成这样的槽，能够更恰好地使石英粉沉积在铸模内表面的槽中，能够使石英粉的附着性变得更加良好。其结果，能够更有效地抑制铸模的内表面上的石英粉的滑落。

此外，优选所述铸模的材质为不锈钢或碳。

通过使用这样的铸模的材质，能够制成更适合于制造石英玻璃坩埚的铸模。

此外，优选在所述铸模的直体部的整个内表面上形成所述同心圆形的多个槽。

如此，通过在铸模的直体部的整个内表面上形成槽，能够更适当地抑制铸模的内表面上的石英粉的滑落。