[发明专利]铸模及石英玻璃坩埚的制造方法有效
申请号: | 201880080270.4 | 申请日: | 2018-12-04 |
公开(公告)号: | CN111479785B | 公开(公告)日: | 2022-10-25 |
发明(设计)人: | 泽崎二郎;大滨康生;谷口胜巳 | 申请(专利权)人: | 信越石英株式会社 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;谢顺星 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铸模 石英玻璃 坩埚 制造 方法 | ||
1.一种铸模,其用于通过旋转模塑法制造石英玻璃坩埚,所述铸模的特征在于,
在所述铸模的内表面的至少直体部上具有相对于铸模旋转轴为同心圆形的多个槽,且所述同心圆形的多个槽为不贯穿所述铸模的非贯穿槽,
所述同心圆形的多个槽的宽度为0.3mm以上2.5mm以下,深度为0.2mm以上4mm以下,间距为3mm以上20mm以下。
2.根据权利要求1所述的铸模,其特征在于,所述铸模的材质为不锈钢或碳。
3.根据权利要求1所述的铸模,其特征在于,在所述铸模的直体部的整个内表面上形成有所述同心圆形的多个槽。
4.根据权利要求2所述的铸模,其特征在于,在所述铸模的直体部的整个内表面上形成有所述同心圆形的多个槽。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的铸模,其特征在于,在所述铸模的整个内表面上形成有所述同心圆形的多个槽。
6.一种石英玻璃坩埚的制造方法,其具有下述工序:
一边使权利要求1~4中任一项所述的铸模旋转,一边将石英粉喷在所述旋转的铸模的内表面上,成型出由石英粉构成的规定形状的石英粉成型体的工序;
将成型的所述石英粉成型体熔融而制作石英玻璃坩埚的工序,
所述制造方法的特征在于,将所述石英粉喷在所述旋转的铸模的内表面时,将所述石英粉喷在包含存在所述同心圆形的多个槽的部分的内表面上。
7.一种石英玻璃坩埚的制造方法,其具有下述工序:
一边使权利要求5所述的铸模旋转,一边将石英粉喷在所述旋转的铸模的内表面上,成型出由石英粉构成的规定形状的石英粉成型体的工序;
将成型的所述石英粉成型体熔融而制作石英玻璃坩埚的工序,
所述制造方法的特征在于,将所述石英粉喷在所述旋转的铸模的内表面时,将所述石英粉喷在包含存在所述同心圆形的多个槽的部分的内表面上。
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