[发明专利]分光分析装置

权利要求书

1.一种分光分析装置，其具有：

光源，其将包含多个波长成分的光射出；

偏振片，其将从所述光源射出的光变换为向样品照射的直线偏振光的光；

偏振衍射元件，其使经过了所述样品的光所包含的第1偏振成分向第1方向衍射而进行波长分散，使第2偏振成分向与所述第1方向不同的第2方向衍射而进行波长分散；

棱镜，其配置于所述偏振衍射元件的出射侧，具有与所述第1方向相交叉的第1出射面和与所述第2方向相交叉的第2出射面，所述第1出射面及所述第2出射面相对于包含所述第1方向及所述第2方向在内的基准面的角度彼此不同；

拍摄元件，其对从所述棱镜的所述第1出射面射出的所述第1偏振成分的像、和从所述第2出射面射出的所述第2偏振成分的像进行拍摄；以及

处理装置，其基于所述拍摄元件的拍摄结果对所述样品进行分析，

所述棱镜是所述基准面中的形状为梯形的部件，

所述棱镜的所述第1出射面是包含所述梯形的第1腿的面，

所述棱镜的所述第2出射面是包含所述梯形的第2腿的面。

2.根据权利要求1所述的分光分析装置，其中，

所述第1方向和所述第1出射面的所述基准面内的角度，设定为使进行了波长分散的所述第1偏振成分的分散角度扩大的角度，

所述第2方向和所述第2出射面的所述基准面内的角度，设定为使进行了波长分散的所述第2偏振成分的分散角度扩大的角度。

3.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，

具有柱面透镜，该柱面透镜配置于所述偏振片和所述样品之间，将向所述样品照射的光整形为向与所述基准面相交叉的方向延伸的光。

4.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，

所述第1出射面相对于所述基准面的角度为90度，

所述第2出射面相对于所述基准面的角度为45度。

5.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，

第1偏振成分是右旋圆偏振光成分或者左旋圆偏振光成分中的任一者，

第2偏振成分是右旋圆偏振光成分或者左旋圆偏振光成分中的另一者。

6.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，

所述偏振衍射元件是具有结构性双折射或者分子取向性双折射的透过型偏振衍射元件。

7.根据权利要求1所述的分光分析装置，其中，

所述棱镜具有包含所述梯形的底边在内的面即入射面，

从所述偏振衍射元件射出的进行了所述衍射而波长分散的第1偏振成分、和进行了所述衍射而波长分散的第2偏振成分射入至所述入射面。

8.根据权利要求1所述的分光分析装置，其中，

所述棱镜是所述基准面中的形状为四边形的板状的部件，

所述棱镜的所述第1出射面是包含所述四边形的任意一边的面，

所述棱镜的所述第2出射面是包含所述四边形的其他一边的面。

9.根据权利要求8所述的分光分析装置，其中，

所述棱镜具有包含所述四边形的另一边的面即入射面，

从所述偏振衍射元件射出的进行了所述衍射而波长分散的第1偏振成分和进行了所述衍射而波长分散的第2偏振成分射入至所述入射面。

10.根据权利要求7或9所述的分光分析装置，其中，

所述偏振衍射元件具有将进行了所述衍射而波长分散的第1偏振成分、和进行了所述衍射而波长分散的第2偏振成分射出的出射面，

所述棱镜的所述入射面和所述偏振衍射元件的所述出射面紧贴。