[发明专利]线锯装置及晶圆的制造方法

权利要求书

1.一种线锯装置，其具备：多个金属线引导部；金属线列，由卷绕于所述多个金属线引导部并沿轴向往返移动的金属线形成；喷嘴，向所述金属线供给冷却剂或浆料；工件保持部，将经由梁而粘接有工件的工件板悬挂并保持；以及工件进给机构，将所述工件按压至所述金属线列，其特征在于，

还具备对形成所述金属线列的所述多个金属线引导部的轴的平行度进行调整的机构，能够控制切断后的工件的金属线移动方向的翘曲。

2.一种晶圆的制造方法，其特征在于，使用权利要求1所述的线锯装置，通过对形成所述金属线列的所述多个金属线引导部的轴的平行度进行调整并切断工件，从而控制切断后的工件的金属线移动方向的翘曲。

3.一种晶圆的制造方法，由卷绕于多个金属线引导部且沿轴向往返移动的金属线形成金属线列，从喷嘴向所述金属线供给冷却剂或浆料，并且通过工件进给机构将工件保持部所保持的工件按压至所述金属线列，从而切断所述工件而制造晶圆，其特征在于，

通过对形成所述金属线列的所述多个金属线引导部的轴的平行度进行调整并切断所述工件，从而控制切断后的工件的金属线移动方向的翘曲。