[发明专利]用于带测量容积的具有箔腔室的测试泄漏的方法

说明书

使用箔腔室(10)接收试样(22)以测试所述试样是否存在泄漏的方法，其中，所述箔腔室(10)包括包围箔腔室容积(20)的壁，这些壁具有至少一个与测量容积(34，36)邻接的柔性壁部分，所述测量容积(34，36)布置在所述柔性壁部分的与所述箔腔室容积(20)相对的一侧，并且与所述箔腔室容积(20)气密地分离，所述方法包括下述步骤：将所述试样(22)放入所述箔腔室(10)；关闭所述箔腔室(10)；抽空所述箔腔室(10)；以及在所述箔腔室(10)的抽空期间监测所述测量容积(34，36)；以便利用监视结果得出关于试样(22)中可能泄漏的大小的结论，其特征在于，当所述箔腔室(10)在测量容积(34，36)中的压力低于预定阈值时，将所述测量容积(34，36)与大气连接的排气阀(40)关闭；并且在一旦所述测量容积(34，36)内的所述压力大于如所述箔腔室(20)的预设的阈值时被开启。

技术领域

本发明涉及一种使用箔腔室测试试样是否存在泄漏的方法。

背景

箔腔室是具有至少一个柔性壁部分的测试室，该柔性壁部分例如箔片制成。典型的箔腔室具有在测试样品周围彼此相对放置的两个箔层，以完全包围测试样品。容纳试样后，将箔腔室密封并抽成真空。然后，监测箔腔室容积在试样外的部分中的压力变化，其中压力增加被认为是试样泄漏的指示。作为监视箔腔室容积中的压力的替代方式，还可以监视柔性壁部分，其中，柔性壁部分或箔片的变化可以指示泄漏。DE102012200063A1中公开了这种方法。

DE102012200063A1描述了一种用于对试样进行严重泄漏测试的箔腔室，该腔室具有在箔腔室容积中在柔性壁部分的相对侧上邻接于柔性壁部分的测量容积。测量容积与箔腔室容积密闭地形成。在箔腔室包括两个柔性壁部分的一个实施例中，每个柔性壁部分均是一个箔片的形式，测量容积分别邻接两个箔片中的每一个。在所描述的方法中，将容纳试样的封闭的箔腔室抽成真空，在箔腔室的排空期间已经对测量容积进行监视，以便基于监视结果来评估试样中可能的泄漏的大小。可以通过测量测量容积中的压力或通过测量箔腔室中或来自箔腔室的气体流量来实现对测量容积的监视。

当以这种方式检查具有严重泄漏的试样时，在将箔腔室抽真空的同时，也至少部分抽真空该试样。由于箔腔室容积和测量容积之间的柔性壁部分，因此增大了测量容积。在此，测量容积的增大大于在紧密的试样的情况下或在具有较小泄漏的试样的情况下。在紧密的试样的情况下，仅抽空试样外部区域中的箔腔室容积。在具有大的泄漏的试样的情况下，还抽真空试样或至少一部分试样容积，从而与紧的试样相比抽出更大的容积。由此，测量容积的容积膨胀越大，则试样的泄漏越大。基于测量容积和/或柔性壁部分的膨胀，然后可以评估试样中可能泄漏的大小。

简要说明

本发明的目的是允许对试样进行严重泄漏检测，特别是对于大的试样，这种检测得到改善。

本发明的方法由权利要求1的特征限定。

据此，在将测量容积与箔腔室周围的大气连接的气体路径中设置有可控的排气阀，如果测量容积内的压力低于阈值，则在箔腔室关闭时关闭该阀。当关闭箔腔室后，一旦测量容积中的压力超过阈值，便会打开排气阀。对于较小的试样，在关闭箔腔室时不会超过测量容积中的压力阈值，并且排气阀保持关闭状态。对于大的试样，该试样在关闭箔腔室时会相应地移出更大比例的测量体积，超过了测量体积中压力的预定阈值，并且阀门被打开，多余的气体可能从测量体积中逸出结果，从而柔性壁部分或箔片围绕试样。

在测量过程中，即在排空箔腔室后监测测量容积的过程中，排气阀保持关闭。当取出试样并将新的试样放入箔腔室中以进行后续测量时，排气阀也保持关闭状态。在此，不必再次减小测量容积并且可以比以前更快地进行测量。在随后的测量中使用较小的试样的情况下，在排空箔腔室期间，将柔性壁部分或箔片拉到试样的外轮廓上，从而以便扩大柔性测量容积或箔片所需的气体可以流入。

附图说明

在下文中，将参照附图详细说明本发明的实施例。在图中：