[发明专利]用于带测量容积的具有箔腔室的测试泄漏的方法

权利要求书

1.一种使用箔腔室(10)接收试样(22)以测试所述试样是否存在泄漏的方法，其中，所述箔腔室(10)包括包围箔腔室容积(20)的壁，所述壁包括至少一个与测量容积(34，36)邻接的柔性壁部分，所述测量容积(34，36)布置在所述柔性壁部分的与所述箔腔室容积(20)相对的一侧，并且与所述箔腔室容积(20)气密地分离，所述方法包括下述步骤：

将所述试样(22)引入所述箔腔室(10)；

关闭所述箔腔室(10)；

抽空所述箔腔室(10)；以及

在所述箔腔室(10)的关闭和抽空期间监测所述测量容积(34，36)；

其特征在于：

当所述测量容积(34，36)内的所述压力小于预设的阈值时，在所述箔腔室(10)的关闭之前和关闭期间，将所述测量容积(34，36)与周围大气连接的排气阀(40)关闭；并且在所述箔腔室(20)的关闭期间，所述排气阀(40)在一旦所述测量容积(34，36)内的所述压力大于预设的阈值时被开启以对所述测量容积(34，36)进行排气，使得过量气体从所述测量容积(34，36)中逸出，并且所述柔性壁部分位于所述试样(22)周围，以及

所述排气阀(40)在排空和开启所述箔腔室(10)之前被关闭。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述监测所述测量容积之后，并在将新的试样(22)引入所述箔腔室(10)进行随后的泄露测试期间，所述排气阀(40)保持关闭。

3.根据前述的任一项权利要求所述的方法，其特征在于，在所述泄露测试之后将所述试样从所述箔腔室(20)中移出并将新的试样置入所述箔腔室(10)中以进行随后的泄漏测试，其中，所述排气阀(40)在移除所述试样之前关闭，并在将所述新的试样(22)引入所述箔腔室期间保持关闭，并在一旦所述测量容积(34，36)中的所述压力超过所述阈值时被打开。