[发明专利]确定透明膜上的涂层性质的方法和装置以及制造电容器膜的方法

说明书

本发明涉及用于使用一种结构来确定电容器的透明膜(7)上的涂层(1)的性质的方法，所述结构包括光源(2)、传感器(3)以及中央处理单元(4)，该方法包括以下步骤：A)在穿过光源(2)与传感器(3)之间的路径(10)上移动具有涂层(1)的透明膜(7)，B)由光源(2)照射透明膜(1)上的涂层，C)由传感器(3)检测来自光源(2)的透射光(5)的强度，D)由处理单元(4)基于所测量出的透射光(5)的强度来计算透明膜(1)上的涂层的性质。

本发明涉及用于确定透明膜上的涂层的性质的方法、用于制造电容器膜的方法以及用于确定透明膜上的涂层的性质以获得更好的可确定性的装置。

为了更好地控制最终产品的质量，重要的是，在生产过程期间了解产品的确切性质。特别是在薄衬底上涂覆化合物的层的薄膜生产领域中，重要的是，在生产过程中及时测量涂覆层的厚度和元素比率。

本发明的目的是创建一种用于确定透明膜上的涂层的性质的快速且可靠的方法。另外的任务可以是提供一种用于在生产过程期间确定薄衬底上的多层涂覆膜中的几种元素的比率的非破坏性的方法。另一目的是提供一种用于执行上述方法的装置。

如独立权利要求1中所公开的发明或独立权利要求16中的方法提供了针对该问题的解决方案。权利要求1的从属权利要求可以产生优选的解决方案。其他目的由权利要求15的主题解决。

本发明涉及第一方法。其是一种用于确定用于电容器的透明膜上的涂层的性质的方法。该方法使用包括光源、传感器和中央处理单元的结构。该方法包括以下步骤以确定透明膜上的涂层的性质：在穿过光源与传感器之间的路径上移动具有涂层的透明膜，由光源照射透明膜上的涂层，由传感器检测来自光源的透射光的强度，以及由处理单元基于所测量出的透射光的强度来计算透明膜上的涂层的性质。

其中，涂层可以包含金属或由金属组成。然而，本发明不限于这种金属化。

由于路径可以是生产线的一部分，因此本发明中所使用的这种结构可以允许在生产过程期间进行性质的确定。此外，由于所有的结果都是计算出的，因此可以不需要与参考数据进行比较。因此，计算可以节省大量时间并且加快确定过程。

在本发明的可能的实施方式中，光源发射用于照射透明膜上的涂层的、电磁波谱的多个波长的光。其中，所发射的光的波长可以在10nm至10μm的范围内。可以对光学频谱的范围进行进一步的限定。光学频谱可以由具有在380nm至780nm范围内的多个波长的光来限定。使用多个波长的光不仅可以确定涂层的厚度，而且还可以确定其他性质，例如涂层中某种元素的含量。

在本发明的另一个实施方式中，该方法包括以所发射的光的频率执行扫描的步骤。可以针对与由光源所提供的波长范围或波长的部分子范围中的每个波长相关的频率进行扫描。

频率的扫描可以用于确定光的一个或更多个最佳波长。最佳波长可以由涂层中的感兴趣的材料的衰减系数的行为来限定。以更具体的方式来说，最佳波长可以被限定为对于涂层中的感兴趣的材料而言衰减系数变得最大的波长。此外，在有几种感兴趣的材料的情况下，最佳波长的限定的一部分为：材料的衰减系数彼此不同并且在该波长下差异最大。

在本发明的一个实施方式中，传感器可以被配置成检测来自光源的由光源发射的波长范围内的光。传感器可以被配置成检测到达检测器的光的强度。由于传感器的特性，可能传感器仅能检测到由光源发射的波长范围的一部分。对于传感器来说，至少所有最佳波长是可检测到的。传感器可以被实现为光电二极管或线相机(line camera)。多个波长的光强度的测量可以提高结果的准确性，特别是在多层涂层的情况下更是如此。

在另一实施方式中，该方法的特征在于，透明膜上的涂层包括一个以上的层。透明膜上的涂层中的每一层可以包括一种或更多种材料。该方法的特征在于，每个层的厚度由中央处理单元计算作为透明膜上的涂层的性质。此外，可以通过中央处理单元计算每种材料的含量作为透明膜上的涂层的性质。