[发明专利]电气检查方法

说明书

本发明的电气检查方法具备如下步骤：准备晶圆(100)，该晶圆构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部；及检查多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。

技术领域

本公开涉及一种用以获得法布里-帕罗干涉滤光器的电气检查方法。

背景技术

作为现有的法布里-帕罗干涉滤光器，已知有具备基板、及在基板上经由空隙互相相对的固定镜及可动镜的滤光器(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2013-506154号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

如上述的法布里-帕罗干涉滤光器由于为微细的构造体，故在制造法布里-帕罗干涉滤光器时，提高制造效率及良率的两者较困难。

因此，本公开的目的在于提供一种能够效率良好且良率良好地获得多个法布里-帕罗干涉滤光器的电气检查方法。

[解决问题的技术手段]

本公开的一方面的电气检查方法具备如下步骤：准备晶圆，该晶圆具备基板层、及二维配置于基板层上的多对第1镜部及第2镜部，且通过在互相相对的第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；及检查多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。

该电气检查方法中，针对成为多个法布里-帕罗干涉滤光器的多个法布里-帕罗干涉滤光器部，在晶圆状态下实施电气特性的检查。因此，该电气检查方法能够效率良好且良率良好地获得多个法布里-帕罗干涉滤光器。其理由如下所述。法布里-帕罗干涉滤光器是在经过直至自晶圆切出并装配于例如光检测装置为止的各步骤期间，特性易变化的元件。因此，认为需要在最终阶段的装配时检查法布里-帕罗干涉滤光器的特性。然而，本发明人等发现，晶圆状态下为良品的法布里-帕罗干涉滤光器部即使其后特性发生变化，也不易成为不良品的法布里-帕罗干涉滤光器。因此，通过在晶圆状态下检查各法布里-帕罗干涉滤光器部的电气特性，可在初始阶段排除如晶圆状态下为不良品的法布里-帕罗干涉滤光器直至最终阶段的装配的浪费，且可提高良品的法布里-帕罗干涉滤光器直至最终阶段的装配的概率。

并且，根据该电气检查方法，可效率良好且精度良好地检查各法布里-帕罗干涉滤光器部的电气特性。其理由如下所述。例如，若要针对各法布里-帕罗干涉滤光器实施电气特性的检查，则例如为了使一对探针确实地与法布里-帕罗干涉滤光器的一对端子接触，有必要针对每个法布里-帕罗干涉滤光器调整支撑角度。通过在晶圆状态下检查各法布里-帕罗干涉滤光器部的电气特性，而可减少此种调整的负担。另外，在法布里-帕罗干涉滤光器中，电气特性也根据温度等环境条件变化。因此，若针对各法布里-帕罗干涉滤光器实施电气特性的检查，则成为检查结果的前提的环境条件在法布里-帕罗干涉滤光器间容易变得不同。通过在晶圆状态下检查各法布里-帕罗干涉滤光器部的电气特性，可在稳定的环境条件下获得检查结果。

本公开的一方面的电气检查方法中，也可在检查电气特性的步骤中，以使静电力产生而在设置于多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的一对端子间测定电容。由此，可针对各法布里-帕罗干涉滤光器部，检查第2镜部有无破损、设置于各法布里-帕罗干涉滤光器部的配线有无断线等。

本公开的一方面的电气检查方法中，也可在检查电气特性的步骤中，以使静电力产生而对设置于多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的一对端子间施加电压并测定漏电流。由此，可针对各法布里-帕罗干涉滤光器部，检查异物有无混入至形成于互相相对的第1镜部与第2镜部之间的空隙、设置于各法布里-帕罗干涉滤光器部的配线有无断线等。