[发明专利]电气检查方法在审
| 申请号： | 201880075447.1 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111406228A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 笠原隆;柴山胜己;广瀬真树;川合敏光;大山泰生;藏本有未 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00;B81C99/00;G01M11/00;G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电气 检查 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种电气检查方法，其特征在于，
具备如下步骤：
准备晶圆的步骤，该晶圆具备基板层、及二维配置于所述基板层上的多对第1镜部及第2镜部，且通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间形成空隙，而构成有互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间的距离根据静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；及
检查所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性的步骤。
2.如权利要求1所述的电气检查方法，其中，
在所述检查电气特性的步骤中，以使所述静电力产生而在设置于所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的一对端子间测定电容。
3.如权利要求1或2所述的电气检查方法，其中，
在所述检查电气特性的步骤中，以使所述静电力产生而对设置于所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的一对端子间施加电压并测定漏电流。
4.如权利要求1至3中任一项所述的电气检查方法，其中，
进一步具备拍摄所述晶圆的步骤。
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