[发明专利]作为用于有机场效应晶体管的有机半导体用可溶性光裂解前体的DNTT锍盐及相关化合物

说明书

本发明提供一种包括半导体层的电子器件的制造工艺，该制造工艺包括：步骤i)，将包含至少一个化学式(1A)‑(1B)‑(1C)的化合物的组合物涂布于电子器件的前体上，以形成层；及步骤ii)，对上述步骤i)的层进行光处理，以形成半导体层，另外，本发明提供化学式1A、1B或1C的化合物、至少包括化学式1A、1B或1C的化合物的组合物及使用化学式1A、1B及1C的化合物中的至少一种作为有机半导体材料的光裂解前体的用途。

技术领域

本发明涉及一种电子器件，优选地，涉及有机场效应晶体管的制造工艺，且涉及作为有机半导体材料的前体的锍化合物和包括上述化合物的组合物。

背景技术

有机半导体材料可以用于如有机太阳能电池(organic photovoltaic，OPV)、有机场效应晶体管(organic field-effect transistors，OFETs)、有机发光二极管(organicligth emitting diodes，OLEDs)及有机电致变色器件(organic electrochromicdevices，ECDs)等的电子器件。

上述有机半导体材料是从加工性(processability)观点而言液相工艺方便，因此可以实现基于低成本的有机半导体材料的电子器件的产生，因此优选地，与如旋涂等的液相工艺(liquid processing)技术兼容。因此可以生产重量轻且机械柔性的有机半导体材料基电子器件。

而且，可以对半导体层或半导体层的前体层进行光学图案化(photopatterned)，从而不需要施加如光刻胶(photoresist)层等的其他层来对半导体层进行图案化的额外步骤。

锍化合物是众所周知的技术。

JP2008-096680中记载了用于制造包括下述化学式

的锍盐中至少一种的彩色滤光片的组合物。

其中，R¹至R³为取代基，a¹为0～5，a²和a³为1～5，R⁴～R⁶为取代基，a⁴为0～5，a⁵和a⁶为0～4，X¹为阴离子、可光聚合化合物和着色剂(colorant)。

上述锍盐用作光聚合引发剂(initiator)。

JP2009-069381公开了包括下述化合物

的抗蚀剂(resist)组合物。

在此，Z为单键或二价基团(divalent group)，X^--为阴离子和树脂(resin)。

上述锍盐用作用于生成酸(acid)的电子束、X射线或紫外线检测生成器(generator)。上述树脂的溶解性质通过与所生成的上述酸(acid)接触而改变。

使用可溶性前体化合物来形成电子器件的半导体材料是众所周知的技术。