[发明专利]光检查装置及光检查方法

说明书

本发明的光检查装置具备：晶圆支撑部，其将构成有互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的晶圆，以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑；光出射部，其使沿基线入射至多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的光出射；及光检测部，其检测沿基线透过多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的光。晶圆支撑部具有使光沿基线通过的光通过区域。

技术领域

本公开涉及一种用以获得法布里-帕罗干涉滤光器的光检查装置及光检查方法。

背景技术

作为现有的法布里-帕罗干涉滤光器，已知有具备基板以及在基板上经由空隙互相相对的固定镜及可动镜的滤光器(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2013-506154号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

由于如上述的法布里-帕罗干涉滤光器为微细的构造体，故在制造法布里-帕罗干涉滤光器时，难以提高制造效率及良率的两者。

因此，本公开的目的在于提供一种可效率良好且良率良好地获得多个法布里-帕罗干涉滤光器的光检查装置及光检查方法。

[解决问题的技术手段]

本公开的一方面的光检查装置具备：晶圆支撑部，其将具备基板层以及二维配置于基板层上的多对第1镜部及第2镜部、且通过在互相相对的第1镜部与第2镜部间形成空隙而构成有互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部的晶圆，以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑；光出射部，其使沿基线入射至多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光出射；及光检测部，其检测沿基线透过多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光；且晶圆支撑部具有使光沿基线通过的光通过区域。

该光检查装置中，对成为多个法布里-帕罗干涉滤光器的多个法布里-帕罗干涉滤光器部，在晶圆状态下实施光透过特性的检查。因此，该光检查装置可效率良好且良率良好地获得多个法布里-帕罗干涉滤光器。其理由如下。法布里-帕罗干涉滤光器是在经过直至自晶圆切出后并装配于例如光检测装置为止的各步骤期间，特性易变化的元件。因此，认为需要在最终阶段的装配时检查法布里-帕罗干涉滤光器的特性。但，本公开人等发现，晶圆的状态下为良品的法布里-帕罗干涉滤光器部即使其后特性变化，也不易成为不良品的法布里-帕罗干涉滤光器。因此，通过在晶圆状态下检查各法布里-帕罗干涉滤光器部的光透过特性，而可在初始阶段排除如晶圆状态下为不良品的法布里-帕罗干涉滤光器直至最终阶段的装配的浪费，且提高良品的法布里-帕罗干涉滤光器直至最终阶段的装配的概率。

并且，根据该光检查装置，可效率良好且精度良好地检查各法布里-帕罗干涉滤光器部的光透过性。其理由如下。在法布里-帕罗干涉滤光器中，透过的光的波长根据入射角变化。因此，若要对各法布里-帕罗干涉滤光器实施光透过特性的检查，则有必要对每个法布里-帕罗干涉滤光器调整支撑角度。通过在晶圆状态下检查各法布里-帕罗干涉滤光器部的光透过特性，而可减少此种调整的负担。另外，在法布里-帕罗干涉滤光器中，透过的光的波长也根据温度等环境条件变化。因此，若对各法布里-帕罗干涉滤光器实施光透过特性的检查，则成为检查结果的前提的环境条件在法布里-帕罗干涉滤光器间容易不同。通过在晶圆状态下检查各法布里-帕罗干涉滤光器部的光透过特性，而可在稳定的环境条件下获得检查结果。

本公开的一方面的光检查装置中，也可为，晶圆支撑部具有面向晶圆中构成有多个法布里-帕罗干涉滤光器部的有效区域的开口，作为光通过区域。由此，可使晶圆支撑部的构成简易化，且使光沿基线透过通过晶圆支撑部支撑的晶圆的各法布里-帕罗干涉滤光器部。