[发明专利]光检查装置及光检查方法

权利要求书

1.一种光检查装置，其特征在于，

具备：

晶圆支撑部，其将晶圆以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑，所述晶圆具备基板层以及二维配置于所述基板层上的多对所述第1镜部及所述第2镜部，且通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间形成空隙而构成有互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；

光出射部，其使沿所述基线入射至所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光出射；及

光检测部，其检测沿所述基线透过所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光，

所述晶圆支撑部具有使光沿所述基线通过的光通过区域。

2.如权利要求1所述的光检查装置，其中，

所述晶圆支撑部具有面向所述晶圆中构成有所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的有效区域的开口作为所述光通过区域。

3.如权利要求1所述的光检查装置，其中，

所述晶圆支撑部具有与所述晶圆中构成有所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的有效区域接触的光透过构件作为所述光通过区域。

4.如权利要求1至3中任一项所述的光检查装置，其中，

进一步具备电压施加部，该电压施加部以互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间的距离变化的方式对所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个施加电压。

5.如权利要求4所述的光检查装置，其中，

所述光出射部以同时出射多个波长的光的方式构成，

所述光检测部以针对所述多个波长的光按波长进行检测的方式构成。

6.如权利要求4所述的光检查装置，其中，

所述光出射部以将多个波长的光按波长出射的方式构成，

所述光检测部以对所述多个波长的光具有灵敏度的方式构成。

7.如权利要求1至3中任一项所述的光检查装置，其中，

进一步具备摄像部，该摄像部拍摄由所述晶圆支撑部支撑的所述晶圆。

8.如权利要求4所述的光检查装置，其中，

进一步具备摄像部，该摄像部拍摄由所述晶圆支撑部支撑的所述晶圆。

9.如权利要求5所述的光检查装置，其中，

进一步具备摄像部，该摄像部拍摄由所述晶圆支撑部支撑的所述晶圆。

10.如权利要求6所述的光检查装置，其中，

进一步具备摄像部，该摄像部拍摄由所述晶圆支撑部支撑的所述晶圆。

11.一种光检查方法，其特征在于，

具备如下步骤：

准备晶圆的步骤，该晶圆具备基板层、以及二维配置于所述基板层上的多对第1镜部及第2镜部，且通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间形成空隙，而构成有互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部；

使沿所述第1镜部与所述第2镜部互相相对的方向入射至所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光出射的步骤；及

检测沿所述第1镜部与所述第2镜部互相相对的方向透过所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个的光的步骤。

12.如权利要求11所述的光检查方法，其中，

进一步具备：以互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间的距离变化的方式对所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部的各个施加电压的步骤。

13.如权利要求11或12所述的光检查方法，其中，

进一步具备拍摄所述晶圆的步骤。