[发明专利]检测装置以及生产电子装置的方法

说明书

根据本发明的实施例的检测装置包括成像单元、照明单元、偏振控制单元以及生成单元。成像单元基于入射光生成图像数据。照明单元用线性偏振光照明对象。偏振控制单元控制朝着成像单元行进的要检测的光的偏振状态。生成单元基于由成像单元已经生成的针对偏振状态已经被控制的要检测的光的图像数据来生成关于要检测的光的线性偏振度的信息。

技术领域

本技术涉及可适用于例如电子装置的组装和检查的检测装置以及生产电子装置的方法。

背景技术

专利文献1公开了一种用于正确地检查膜状透明板等的外形的视觉检查装置。在该视觉检查装置中，第一和第二偏振板部署在光源与成像装置之间的光路上，以具有正交尼科尔关系(crossed Nicols relationship)。然后，将检查目标部署在第一和第二偏振板之间。作为结果，在未通过检查目标的光的量与通过检查目标的光的量之间产生差异，并且生成背景部分暗而检查目标亮的灰度图像。通过将该灰度图像二值化，可以正确地检查检查目标的外形(参见例如专利文献1的说明书的[0009]至[0014]以及图1至图3)。

引文列表

专利文献

专利文献1：日本专利申请公开号1992-236344

发明内容

技术问题

如上所述，需要一种能够高精度地检测具有透明性的透明对象的外形等的技术。

鉴于上述情形，本技术的目的是提供一种能够高精度地检测即使是具有透明性的对象的外形等的检测装置以及生产电子装置的方法。

问题的解决方案

为了实现上述目的，根据本技术的实施例的检测装置包括：成像单元；照明单元；偏振控制单元；以及生成单元。

成像单元基于入射光生成图像数据。

照明单元用线性偏振光照明对象。

偏振控制单元控制要检测的光的偏振状态，要检测的光朝着成像单元行进。

生成单元基于关于要检测的光的图像数据来生成关于要检测的光的线性偏振度的信息，要检测的光的偏振状态已经被控制，关于要检测的光的图像数据由成像单元生成。

在该检测装置中，用线性偏振光照明对象，并且控制要检测的光的偏振状态，要检测的光朝着成像单元行进。另外，基于关于要检测的光的图像数据来生成关于要检测的光的线性偏振度的信息，要检测的光的偏振状态已经被控制，关于要检测的光的图像数据由成像单元生成。通过使用关于线性偏振度的信息，可以高精度地检测即使是具有透明性的对象的外形等。

关于线性偏振度的信息可以包括要检测的光中包括的线性偏振光分量的强度的最大值、要检测的光中包括的线性偏振光分量的强度的最小值或者线性偏振度中的至少一个。

成像单元可以包括各自生成像素数据的多个像素。在这种情况下，偏振控制单元可以将多个像素分类为多个组，并且针对分类了的组中的每个组控制要检测的光的偏振状态，多个组中的每个组包括预定数量的像素。另外，生成单元可以针对分类了的组中的每个组生成关于线性偏振度的信息。

偏振控制单元可以包括多个偏振设备，所述偏振设备针对分类了的组中的每个组与所述预定数量的像素对应地部署，并且控制朝着所述预定数量的像素中对应的一个像素行进的要检测的光的偏振状态。

多个偏振设备中的每个偏振设备可以关于入射光提取具有不同偏振方向的线性偏振光分量。

所述预定数量的像素可以包括在彼此正交的方向上二乘二地布置的第一至第四像素。在这种情况下，多个偏振设备可以包括与第一至第四像素对应地布置的第一至第四偏振设备。