[发明专利]检测装置以及生产电子装置的方法

权利要求书

1.一种检测装置，包括：

成像单元，基于入射光生成图像数据；

照明单元，用线性偏振光照明对象；

偏振控制单元，控制要检测的光的偏振状态，所述要检测的光朝着所述成像单元行进；以及

生成单元，基于关于所述要检测的光的图像数据来生成关于所述要检测的光的线性偏振度的信息，所述要检测的光的偏振状态已经被控制，关于所述要检测的光的图像数据由所述成像单元生成。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其中，

所述关于线性偏振度的信息包括所述要检测的光中包括的线性偏振光分量的强度的最大值、所述要检测的光中包括的线性偏振光分量的强度的最小值或者所述线性偏振度中的至少一个。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其中，

所述成像单元包括各自生成像素数据的多个像素，

所述偏振控制单元将所述多个像素分类为多个组，并且针对分类了的组中的每个组控制所述要检测的光的偏振状态，所述多个组中的每个组包括预定数量的像素，并且

所述生成单元针对所述分类了的组中的每个组生成所述关于线性偏振度的信息。

4.根据权利要求3所述的检测装置，其中，

所述偏振控制单元包括多个偏振设备，所述偏振设备针对所述分类了的组中的每个组与所述预定数量的像素对应地部署，并且控制朝着所述预定数量的像素中的对应的一个像素行进的所述要检测的光的偏振状态。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其中，

所述多个偏振设备中的每个偏振设备关于入射光提取具有不同偏振方向的线性偏振光分量。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其中，

所述预定数量的像素包括在彼此正交的方向上二乘二地布置的第一至第四像素，并且

所述多个偏振设备包括与所述第一至第四像素对应地布置的第一至第四偏振设备。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其中，

所述第一偏振设备从所述要检测的光中提取具有第一偏振方向的线性偏振光分量，

所述第二偏振设备从所述要检测的光中提取具有第二偏振方向的线性偏振光分量，该第二偏振方向是通过将所述第一偏振方向在预定方向上旋转大约45°而获得的；

所述第三偏振设备从所述要检测的光中提取具有第三偏振方向的线性偏振光分量，该第三偏振方向是通过将所述第一偏振方向在所述预定方向上旋转大约90°而获得的；并且

所述第四偏振设备从所述要检测的光中提取具有第四偏振方向的线性偏振光分量，该第四偏振方向是通过将所述第一偏振方向在所述预定方向上旋转大约135°而获得的。

8.根据权利要求6所述的检测装置，其中，

所述生成单元基于由所述第一至第四像素分别生成的第一至第四像素数据来生成针对所述组中的每个组的所述关于线性偏振度的信息。

9.根据权利要求8所述的检测装置，其中，

所述生成单元基于所述第一至第四像素数据，通过执行使用预定的周期函数的拟合处理来生成所述关于线性偏振度的信息。

10.根据权利要求1所述的检测装置，其中，

所述偏振控制单元包括部署在所述成像单元的光轴上的偏振设备，以及能够使所述偏振设备以所述成像单元的光轴为基准相对于所述成像单元旋转的旋转机构单元。

11.根据权利要求10所述的检测装置，其中，

所述旋转机构单元使所述偏振设备以预定的旋转位置为基准相对旋转到大约0°、大约45°、大约90°和大约135°的旋转位置，并且

所述生成单元基于根据所述偏振设备的旋转而生成的多条图像数据来生成所述关于线性偏振度的信息。