[发明专利]表面特性检查装置和记录介质有效
申请号: | 201880073482.X | 申请日: | 2018-12-14 |
公开(公告)号: | CN111356913B | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 长冈英一 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场制作所 |
主分类号: | G01N21/57 | 分类号: | G01N21/57;G01B11/24 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 李雪春;李成必 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 表面 特性 检查 装置 记录 介质 | ||
1.一种表面特性检查装置,是与检测对象分开而以非接触的方式对检测对象的表面特性进行检查的便携型的表面特性检查装置,其特征在于,包括:
检测设备,向检测对象照射光并检测来自该检测对象的反射光;
处理部,通过对来自所述检测设备的数据进行处理来计算所述检测对象的表面特性;
引导信息生成部,生成与相对于所述检测对象的所述检测设备的距离和/或姿势相关的信息;以及
通知部,通知由所述引导信息生成部生成的与所述距离和/或所述姿势相关的信息,
作为与所述距离和/或所述姿势相关的信息,所述通知部在显示器上显示用户使所述检测设备从当前的距离移动的方向和/或用户使所述检测设备从当前的角度旋转移动的方向,或者在显示器上显示表示所述检测设备是否位于适合测定的位置的显示。
2.根据权利要求1所述的表面特性检查装置,其特征在于,
作为表示用户使所述检测设备从当前的距离移动的方向的显示,所述通知部显示所述检测设备与所述检测对象之间的当前的距离大于或小于与所述距离相关的阈值,敦促用户使所述检测设备向接近所述检测对象的方向移动或使所述检测设备向远离所述检测对象的方向移动,和/或
作为表示用户使所述检测设备从当前的角度旋转移动的方向的显示,所述通知部显示所述检测设备相对于所述检测对象的表面的法线矢量设定的围绕X轴或围绕Y轴的当前的旋转角度大于或小于与围绕所述X轴或围绕所述Y轴的旋转角度相关的各阈值,敦促用户使所述检测设备围绕所述X轴或围绕所述Y轴分别向正的方向或负的方向旋转。
3.根据权利要求1所述的表面特性检查装置,其特征在于,所述引导信息生成部生成与所述距离和/或所述姿势相关的信息,以使所述检测设备成为向所述检测对象照射光并接收在所述检测对象上相对于表面的法线方向以规定角度反射的反射光的姿势。
4.根据权利要求3所述的表面特性检查装置,其特征在于,所述反射光为镜面反射光。
5.根据权利要求1所述的表面特性检查装置,其特征在于,
所述检测设备具有拍摄部,所述拍摄部具有二维配置的多个光接收元件,
所述处理部采用来自所述拍摄部的数据对所述检测对象的表面形状进行识别,并根据该表面形状对所述表面特性进行修正。
6.根据权利要求1所述的表面特性检查装置,其特征在于,
所述检测设备还具备向所述检测对象照射光的光源,以及以规定的频率对所述光源的发光强度进行调制的光源控制部,
所述处理部采用与所述发光强度的调制频率同步的光强度信号计算所述检测对象的表面特性。
7.根据权利要求6所述的表面特性检查装置,其特征在于,所述处理部根据与所述发光强度的调制频率同步的所述光强度信号计算所述检测对象的反射率。
8.根据权利要求1所述的表面特性检查装置,其特征在于,所述检测设备生成包含所述检测对象的距离信息和所述检测对象的亮度信息的数据。
9.根据权利要求1所述的表面特性检查装置,其特征在于包括:接收来自所述检测对象的镜面反射光的第一光接收模式;以及接收来自所述检测对象的漫反射光的第二光接收模式。
10.根据权利要求9所述的表面特性检查装置,其特征在于,所述处理部采用所述第一光接收模式中的来自所述检测设备的数据和所述第二光接收模式中的来自所述检测设备的数据,计算所述检测对象的表面特性。
11.根据权利要求1所述的表面特性检查装置,其特征在于,所述处理部采用来自所述检测设备的数据计算所述检测对象的亮度分布,并将该亮度分布显示在显示器上。
12.一种记录介质,存储有表面特性检查程序,所述表面特性检查程序是与检测对象分开而以非接触的方式对检测对象的表面特性进行检查的便携型的表面特性检查装置所使用的表面特性检查程序,其特征在于,
所述表面特性检查程序使计算机发挥下述功能:
接收部,接收来自检测设备的数据,所述检测设备向检测对象照射光并检测其反射光;
处理部,通过对由所述接收部接收的数据进行处理来计算所述检测对象的表面特性;
引导信息生成部,生成与相对于所述检测对象的所述检测设备的距离和/或姿势相关的信息;以及
通知部,通知由所述引导信息生成部生成的与所述距离和/或所述姿势相关的信息,
作为与所述距离和/或所述姿势相关的信息,所述通知部在显示器上显示用户使所述检测设备从当前的距离移动的方向和/或用户使所述检测设备从当前的角度旋转移动的方向,或者在显示器上显示表示所述检测设备是否位于适合测定的位置的显示。
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