[发明专利]在具有非平坦表面的支撑件上制造膜的方法

权利要求书

1.一种在具有非平坦表面的支撑件(20)上制造膜(12)的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

-供应具有非平坦表面的供体衬底(10)，

-在所述供体衬底(10)中形成脆化区(11)以界定待转移的所述膜(12)，

-在待转移的所述膜(12)的所述非平坦表面上通过沉积形成所述支撑件(20)，

-使所述供体衬底(10)沿着所述脆化区(11)分离，以将所述膜(12)转移到所述支撑件(20)上。

2.根据权利要求1所述的方法，该方法还包括：在沉积所述支撑件(20)之前在所述非平坦表面上沉积中间层(21)。

3.根据权利要求1或2中的一项所述的方法，其中，形成所述脆化区(11)的步骤通过在所述供体衬底(10)中注入离子物质来进行。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所注入的离子物质是氢和/或氦。

5.根据权利要求1至4中的一项所述的方法，其中，通过热处理来导致所述供体衬底(10)的分离。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，以小于所述分离热处理的热预算来实现所述支撑件(20)的沉积。

7.根据权利要求1至6中的一项所述的方法，其中，转移的膜(12)由选自半导体材料、压电材料、磁性材料和功能氧化物的材料制成。

8.根据权利要求1至7中的一项所述的方法，其中，转移的膜(12)是单晶的。

9.根据权利要求1至8中的一项所述的方法，其中，转移的膜(12)的厚度介于100nm和10μm之间，优选介于100nm和1μm之间。

10.根据权利要求1至9中的一项所述的方法，其中，所述支撑件(20)由选自金属、玻璃和陶瓷的材料制成。

11.根据权利要求1至10中的一项所述的方法，其中，所述支撑件(20)具有介于1μm和50μm之间的厚度。

12.根据权利要求1至11中的一项所述的方法，其中，所述支撑件(20)的材料被选择为相对于转移的膜(12)的材料的热系数差的绝对值小于5×10^-6K^-1。

13.根据权利要求1至12中的一项所述的方法，其中，通过以下技术之一来实现所述支撑件(20)的沉积：物理气相沉积、化学气相沉积、电化学沉积、旋涂、涂漆和喷涂。

14.根据权利要求1至13中的一项所述的方法，其中，待转移的所述膜(12)的所述表面具有至少一个弯曲部分。

15.根据权利要求1至14中的一项所述的方法，其中，待转移的所述膜(12)的所述表面具有至少一个凹陷或浮雕图案(100)。

16.根据权利要求1至15中的一项所述的方法，其中，待转移的所述膜(12)的所述表面具有由大于1nm rms的粗糙度表征的纹理。

17.根据权利要求1至16中的一项所述的方法，其中，在形成所述脆化区(11)之后获得待转移的所述膜(12)的所述非平坦表面。

18.根据权利要求1至16中的一项所述的方法，其中，在形成所述脆化区(11)之前获得待转移的所述膜(12)的所述非平坦表面。