[发明专利]流体供给管线的异常诊断方法

权利要求书

1.一种流体供给管线的异常诊断方法，对利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备而构成的流体供给管线的异常进行诊断，

所述流体供给管线具有：

流量控制装置，其通过第一连接单元与所述流体供给管线外的机构连接，并具有流量控制装置内阀、以及对流路内压力进行检测的压力检测机构；

第一阀，其通过从所述第一连接单元分支出来的第二连接单元与所述流体供给管线外的机构连接，且配置在所述流量控制装置的上游侧；以及

第二阀，其通过从所述第一连接单元分支出来的第二连接单元与所述流体供给管线外的机构连接，且配置在所述流量控制装置的下游侧，

所述流体供给管线的异常诊断方法包括：

阀操作工序，将所述流量控制装置内阀、所述第一阀和所述第二阀中的任一个或多个阀打开或关闭；

压力调整工序，使自所述第一阀经由所述流量控制装置至所述第二阀的流路内的一部分或全部为真空状态或加压状态；

压力检测工序，通过所述压力检测机构来获取所述流量控制装置的流路内随时间推移的压力特性；以及

异常判定工序，将由所述压力检测机构获取的异常诊断时的压力特性与在同一条件下预先测定的正常时的压力特性进行对比，来判定异常的有无。

2.根据权利要求1所述的流体供给管线的异常诊断方法，其中，

所述阀操作工序包括：

第一步骤，打开所述第一阀；

第二步骤，关闭所述流量控制装置内阀；

第三步骤，打开所述第二阀；以及

第五步骤，从自所述流量控制装置内阀的阀部至所述第二阀的阀部的流路内成为真空的状态起，关闭所述第二阀，

所述压力调整工序在所述第三步骤后包括第四步骤，在该第四步骤中，使自所述流量控制装置内阀的阀部至所述第二阀的阀部的流路内成为真空状态，

所述压力检测工序在所述第五步骤的执行后包括第六步骤，在该第六步骤中，通过所述压力检测机构来获取自所述流量控制装置内阀的阀部至所述第二阀的阀部的流路内随时间推移的压力特性。

3.根据权利要求1所述的流体供给管线的异常诊断方法，其中，

所述阀操作工序包括：

第一步骤，关闭所述第一阀；

第二步骤，打开所述流量控制装置内阀；

第三步骤，打开所述第二阀；以及

第五步骤，从自所述第一阀的阀部经由所述流量控制装置的流路至所述第二阀的阀部的流路内成为真空的状态起，关闭所述第二阀，

所述压力调整工序在所述第三步骤后包括第四步骤，在该第四步骤中，使自所述第一阀的阀部经由所述流量控制装置的流路至所述第二阀的阀部的流路内成为真空状态，

所述压力检测工序在所述第五步骤的执行后包括第六步骤，在该第六步骤中，通过所述压力检测机构来获取自所述第一阀的阀部经由所述流量控制装置的流路至所述第二阀的阀部的流路内随时间推移的压力特性。

4.根据权利要求1所述的流体供给管线的异常诊断方法，其中，

所述阀操作工序包括：

第一步骤，打开所述第一阀；

第二步骤，打开所述流量控制装置内阀；

第三步骤，关闭所述第二阀；以及

第五步骤，从自所述第一阀的阀部经由所述流量控制装置的流路至所述第二阀的阀部的流路内成为加压的状态起，关闭所述流量控制装置内阀，

所述压力调整工序在所述第三步骤后包括第四步骤，在该第四步骤中，使自所述第一阀的阀部经由所述流量控制装置的流路至所述第二阀的阀部的流路内成为加压状态，

所述压力检测工序在所述第五步骤的执行后包括第六步骤，在该第六步骤中，通过所述压力检测机构来获取自所述第一阀的阀部经由所述流量控制装置的流路至所述第二阀的阀部的流路内随时间推移的压力特性。