[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法

说明书

蒸镀掩模具备表面、作为表面的相反侧的面的背面、以及划分各掩模孔的内表面。各掩模孔在表面与背面之间贯通，各掩模孔具备在与表面对置的俯视下位于表面的大开口和位于大开口的内侧的小开口。各掩模孔的至少一部分具有将大开口与小开口相连的倒锥台筒状。各内表面具备从小开口朝向大开口扩展的阶梯面。

技术领域

本发明涉及蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及使用了蒸镀掩模的显示装置的制造方法。

背景技术

作为使用蒸镀法制造的显示装置之一，已知有有机EL显示器。有机EL显示器所具备的图案是在蒸镀工序中升华的蒸镀粒子的堆积物。蒸镀工序中使用的蒸镀掩模包含表面与背面，并且具有将蒸镀掩模从表面贯通到背面的多个掩模孔。各掩模孔是供升华的蒸镀粒子通过的通路。

蒸镀掩模的背面是在蒸镀工序中形成图案的蒸镀对象所接触的面。蒸镀掩模的表面是在蒸镀工序中与蒸镀源对置的面。各掩模孔包含在表面开口的表面开口和在背面开口的背面开口。表面开口包含于从表面朝向背面前端变细的大孔，背面开口包含于从背面朝向表面前端变细的小孔。大孔与小孔在蒸镀掩模的厚度方向上，在蒸镀掩模的厚度的比中央靠背面的位置相互连接。大孔与小孔连接的部分是连接部。在沿着蒸镀掩模的厚度方向并且穿过连接部的剖面上，与背面平行的直线是基准线。在该剖面上，穿过表面开口的边缘与连接部的直线是倾斜线。而且，基准线与倾斜线所形成的角度是锥形角度(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017－88936号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，从蒸镀源朝向蒸镀掩模飞行的蒸镀粒子的轨迹和蒸镀掩模的背面所形成的角度是蒸镀粒子的入射角度。升华的蒸镀粒子能够穿过大孔的入射角度的范围、进而蒸镀粒子能够穿过掩模孔的入射角度的范围被上述锥形角度限制。因此，对于蒸镀掩模，要求减小蒸镀粒子能够穿过大孔的入射角度的限制。

本发明的目的是提供一种能够减小对于蒸镀粒子能够穿过掩模孔的蒸镀粒子的入射角度的限制的蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。

用于解决技术问题的手段

用来解决上述课题的蒸镀掩模是包含金属板和形成于上述金属板的多个掩模孔的蒸镀掩模。具备：表面；作为与上述表面相反的一侧的面的背面；以及划分各掩模孔的内表面。各掩模孔在上述表面与上述背面之间贯通，各掩模孔具备在与上述表面对置的俯视下位于上述表面的大开口和位于上述大开口的内侧的小开口。各掩模孔的至少一部分具有将上述大开口与上述小开口相连的倒锥台筒状。各内表面具备从上述小开口朝向上述大开口扩展的阶梯面。

用于解决上述课题的蒸镀掩模的制造方法是包含金属板和形成于上述金属板的多个掩模孔的蒸镀掩模的制造方法。该制造方法包括通过在金属板上形成多个掩模孔来形成蒸镀掩模的步骤，上述蒸镀掩模具备：表面；作为与上述表面相反的一侧的面的背面；以及划分各掩模孔的内表面，各掩模孔在上述表面与上述背面之间贯通，各掩模孔具备在与上述表面对置的俯视下位于上述表面的大开口和位于上述大开口的内侧的小开口，各掩模孔的至少一部分具有将上述大开口与上述小开口相连的倒锥台筒状，各内表面具备从上述小开口朝向上述大开口扩展的阶梯面。