[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模，包含金属板和形成于上述金属板的多个掩模孔，上述蒸镀掩模具备：

表面；

作为与上述表面相反的一侧的面的背面；以及

划分各掩模孔的内表面，

各掩模孔在上述表面和上述背面之间贯通，

各掩模孔具备在与上述表面对置的俯视下位于上述表面的大开口和位于上述大开口的内侧的小开口，各掩模孔的至少一部分具有将上述大开口与上述小开口相连的倒锥台筒状，

各内表面具备从上述小开口朝向上述大开口扩展的阶梯面。

2.如权利要求1所述的蒸镀掩模，

上述大开口的边缘具备作为上述阶梯面的边缘的第1部和除上述第1部以外的第2部，

上述大开口的边缘的上述第2部具备与和该大开口相邻的其他上述大开口的上述第2部合并在一起而成的边界部，该边界部从上述表面凹陷。

3.如权利要求2所述的蒸镀掩模，

在与上述表面对置的俯视下，上述边界部包含上述小开口的周围中、相互相邻的上述小开口之间的距离最小的部位。

4.如权利要求1所述的蒸镀掩模，

上述大开口的边缘具备作为上述阶梯面的边缘的第1部和除上述第1部以外的第2部，

上述大开口的边缘中的上述第1部具备与和该大开口相邻的其他上述大开口的上述第1部合并在一起而成的边界部，该边界部具有从上述表面凹陷的形状。

5.如权利要求1至4中任一项所述的蒸镀掩模，

上述小开口位于上述背面。

6.如权利要求1至5中任一项所述的蒸镀掩模，

上述阶梯面具有多个段，各段在与上述表面正交的剖面上具有圆弧状。

7.一种蒸镀掩模，包含金属板和形成于上述金属板的多个掩模孔，上述蒸镀掩模具备：

表面；以及

作为与上述表面相反的一侧的面的背面，

各掩模孔在上述表面与上述背面之间贯通，

各掩模孔具备在与上述表面对置的俯视下位于上述表面的大开口和位于上述大开口的内侧的小开口，各掩模孔的至少一部分具有将上述大开口与上述小开口相连的倒锥台筒状，

相互相邻的上述大开口通过从上述表面凹陷的辅助凹部而被连接。

8.一种蒸镀掩模的制造方法，上述蒸镀掩模包含金属板和形成于上述金属板的多个掩模孔，

该蒸镀掩模的制造方法包括形成蒸镀掩模的步骤，上述形成蒸镀掩模的步骤是通过在金属板上形成多个掩模孔来形成蒸镀掩模的步骤，

上述蒸镀掩模具备：

表面；

作为与上述表面相反的一侧的面的背面；以及

划分各掩模孔的内表面，

各掩模孔在上述表面与上述背面之间贯通，

各掩模孔具备在与上述表面对置的俯视下位于上述表面的大开口和位于上述大开口的内侧的小开口，各掩模孔的至少一部分具有将上述大开口与上述小开口相连的倒锥台筒状，

各内表面具备从上述小开口朝向上述大开口扩展的阶梯面。

9.一种显示装置的制造方法，使用了包含金属板和形成于上述金属板的多个掩模孔的蒸镀掩模，

该显示装置的制造方法包括：

形成蒸镀掩模的步骤，上述形成蒸镀掩模的步骤是通过在金属板上形成多个掩模孔来形成蒸镀掩模的步骤；以及

通过使用了上述蒸镀掩模的蒸镀来形成显示装置所具有的图案的步骤，

上述蒸镀掩模具备：

表面；

作为与上述表面相反的一侧的面的背面；以及

划分各掩模孔的内表面，

各掩模孔在上述表面与上述背面之间贯通，

各掩模孔具备在与上述表面对置的俯视下位于上述表面的大开口和位于上述大开口的内侧的小开口，

各掩模孔的至少一部分具有将上述大开口与上述小开口相连的倒锥台筒状，

各内表面具备从上述小开口朝向上述大开口扩展的阶梯面。