[发明专利]样品检查中的图像对比度增强

权利要求书

1.一种用于检查样品的对比度的方法，包括：

在第一时间段期间，将第一数量的电荷沉积到所述样品的区域中，其中所述区域具有化学特性或物理特性的不均匀空间分布；

在第二时间段期间，将第二数量的电荷沉积到所述区域中；以及

在扫描带电粒子的束在所述样品上生成的探针斑点时，从所述探针斑点中记录表示所述带电粒子的束和所述样品的相互作用的信号，

其中所述第一时间段期间的平均沉积速率和所述第二时间段期间的平均沉积速率不同，

其中使用包括电荷的另一束、而非使用所述带电粒子的束来进行沉积所述第一数量的电荷或沉积所述第二数量的电荷。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括：重复在所述第一时间段期间将所述第一数量的电荷沉积到所述区域中、以及在所述第二时间段期间将所述第二数量的电荷沉积到所述区域中。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一数量或所述第二数量为零。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一数量和所述第二数量不同。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一时间段的长度和所述第二时间段的长度不同。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述化学特性或物理特性选自由组成、掺杂水平、电阻、电容、电感、厚度、结晶度、以及介电常数组成的组。

7.根据权利要求1所述的方法，其中另一束的横截面面积为所述带电粒子的束的横截面面积的至少2倍。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述区域包括第一子区域和第二子区域，其中从所述第一子区域消散的电荷的数量的改变速率和从所述第二子区域消散的电荷的数量的改变速率不同。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述区域包括第一子区域和第二子区域，其中沉积到所述第一子区域中的电荷的数量的改变速率和沉积到所述第二子区域中的电荷的数量的改变速率相同。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述区域包括第一子区域和第二子区域，其中所述第一子区域中的电荷的数量的净改变速率或所述第二子区域中的电荷的数量的净改变速率为负。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述区域包括第一子区域和第二子区域，其中所述第一子区域中的电荷的数量与所述第二子区域中的电荷的数量之间的差异随时间增加。

12.一种被配置为检查样品的对比度的装置，所述装置包括：

带电粒子的源；

台；

光学器件，被配置为将所述带电粒子的束引导到支撑在所述台上的样品；以及

控制器，被配置为控制所述源和所述光学器件；

其中所述源、所述光学器件和所述控制器被共同配置为：

在第一时间段期间，将第一数量的电荷沉积到所述样品的区域中，其中所述区域具有化学特性或物理特性的不均匀空间分布，以及

在第二时间段期间，将第二数量的电荷沉积到所述区域中，其中所述第一时间段期间的平均沉积速率和所述第二时间段期间的平均沉积速率不同，

其中使用包括电荷的另一束、而非使用用于扫描所述样品上的探针斑点的带电粒子的束来进行沉积所述第一数量的电荷或沉积所述第二数量的电荷。