[发明专利]齿轮定位装置及其方法、应力测定系统及其方法

权利要求书

1.一种齿轮定位装置，其中，具备：

卡盘，其保持齿轮；

旋转驱动机构，其以所述齿轮以规定的旋转轴线为中心旋转的方式对所述卡盘进行旋转驱动；

位移计，其一边使所述齿轮旋转，一边连续性或周期性地获取表示位于所述齿轮的外侧的基准点与所述齿轮的外周面之间的距离的测定值；以及

控制装置，其基于所述齿轮的旋转角度、所述测定值及预先确定的至少一个基准值，将所述齿轮的外周面的一部分设定为测定对象部，并以该测定对象部配置于基准位置的方式控制所述旋转驱动机构。

2.根据权利要求1所述的齿轮定位装置，其中，

所述控制装置获取所述测定值与预先确定的至少一个基准值一致时的所述齿轮的旋转角度，并以基于获取到的所述齿轮的旋转角度将所述测定对象部配置于基准位置的方式控制所述旋转驱动机构。

3.根据权利要求1所述的齿轮定位装置，其中，

所述至少一个基准值包含多个基准值，

所述控制装置包含第一控制模式及第二控制模式中的至少任一个控制模式，

所述第一控制模式从表示所述齿轮的旋转角度与所述测定值的关系的相关数据提取与所述齿轮的旋转相应地所述测定值在增加后减小的第一区间，基于所述第一区间内的所述测定值与所述多个基准值之间的多个一致点中的所述测定值最大的第一一致点确定所述齿轮的齿底，并以所述齿底的一部分配置于所述基准位置的方式控制所述旋转驱动机构，

所述第二控制模式从所述相关数据提取与所述齿轮的旋转相应地所述测定值在减小后增加的第二区间，基于所述第二区间内的所述测定值与所述多个基准值之间的多个一致点中的所述测定值最小的第二一致点确定所述齿轮的齿顶，并以所述齿顶的一部分配置于所述基准位置的方式控制所述旋转驱动机构。

4.根据权利要求3所述的齿轮定位装置，其中，

所述控制装置包含所述第一控制模式，

在所述第一控制模式中，所述控制装置以与所述第一一致点对应的所述齿底上的位置配置于所述基准位置的方式控制所述旋转驱动机构。

5.根据权利要求3所述的齿轮定位装置，其中，

所述控制装置包含所述第一控制模式，

所述第一区间包含与所述齿轮的旋转相应地所述测定值增加的第一区域、及与所述齿轮的旋转相应地所述测定值减小的第二区域，

在所述第一控制模式中，所述控制装置确定与所述第一区域内的所述第一一致点对应的所述齿轮的第一旋转角度、及与所述第二区域内的所述第一一致点对应的所述齿轮的第二旋转角度，并以对应于所述第一旋转角度与所述第二旋转角度的中间的旋转角度的所述齿底上的位置配置于所述基准位置的方式控制所述旋转驱动机构。

6.根据权利要求3所述的齿轮定位装置，其中，

所述控制装置包含所述第二控制模式，

在所述第二控制模式中，所述控制装置以与所述第二一致点对应的所述齿顶上的位置配置于所述基准位置的方式控制所述旋转驱动机构。

7.根据权利要求3所述的齿轮定位装置，其中，

所述控制装置包含所述第二控制模式，

所述第二区间包含与所述齿轮的旋转相应地所述测定值减小的第三区域、及与所述齿轮的旋转相应地所述测定值增加的第四区域，

在所述第二控制模式中，所述控制装置确定与所述第三区域内的所述第二一致点对应的所述齿轮的第三旋转角度、及与所述第四区域内的所述第二一致点对应的所述齿轮的第四旋转角度，并以对应于所述第三旋转角度与所述第四旋转角度的中间的旋转角度的所述齿顶上的位置配置于所述基准位置的方式控制所述旋转驱动机构。

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的齿轮定位装置，其中，

所述位移计为在非接触下测定位于所述齿轮的外侧的基准点与所述齿轮的外周面之间的距离的位移计。

9.根据权利要求1～7中的任一项所述的齿轮定位装置，其中，

所述位移计为涡电流式的位移传感器。