[发明专利]利用高密度金属布线的技术中的高性能单元设计在审
| 申请号: | 201880059890.X | 申请日: | 2018-08-27 |
| 公开(公告)号: | CN111095554A | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
| 发明(设计)人: | R·希里玛斯;H·利姆;F·旺;X·陈;V·宝娜帕里 | 申请(专利权)人: | 高通股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L23/528 |
| 代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 崔卿虎 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 利用 高密度 金属 布线 技术 中的 性能 单元 设计 | ||
1.一种半导体管芯,包括:
第一掺杂区;
第二掺杂区;
互连件,由第一中间线(MOL)层形成,其中所述互连件将所述第一掺杂区电耦合到所述第二掺杂区;
第一金属线,由第一互连金属层形成;以及
第一通孔,将所述互连件电耦合到所述第一金属线。
2.根据权利要求1所述的半导体管芯,其中所述第一掺杂区包括N型掺杂区,并且所述第二掺杂区包括P型掺杂区。
3.根据权利要求1所述的半导体管芯,进一步包括:
第一接触件,在所述第一掺杂区之上;以及
第二接触件,在所述第二掺杂区之上;
其中所述互连件电耦合到所述第一接触件和所述第二接触件。
4.根据权利要求3所述的半导体管芯,其中所述第一接触件和所述第二接触件由所述第一MOL层形成。
5.根据权利要求3所述的半导体管芯,其中所述互连件在横向方向上与所述第一接触件和所述第二接触件间隔开,并且所述半导体管芯进一步包括:
第一桥,在所述第一接触件和所述互连件之间,其中所述第一桥将所述第一接触件电耦合到所述互连件;以及
第二桥,在所述第二接触件和所述互连件之间,其中所述第二桥将所述第二接触件电耦合到所述互连件。
6.根据权利要求5所述的半导体管芯,其中所述第一接触件和所述第二接触件、所述第一桥和所述第二桥以及所述互连件共面。
7.根据权利要求5所述的半导体管芯,其中所述第一接触件和所述第二接触件由所述第一MOL层形成,并且所述第一桥和所述第二桥由第二MOL层形成。
8.根据权利要求7所述的半导体管芯,进一步包括:
栅极;
栅极接触件,在所述栅极之上,其中所述栅极接触件由所述第二MOL层形成;
第二金属线,由所述第一互连金属层形成;以及
第二通孔,将所述栅极接触件电耦合到所述第二金属线。
9.根据权利要求8所述的半导体管芯,其中所述第一金属线和所述第二金属线沿公共线延伸,并且所述第一金属线和所述第二金属线由间隙间隔开。
10.根据权利要求8所述的半导体管芯,其中所述第一金属线和所述第二金属线在同一横向方向上延伸。
11.根据权利要求1所述的半导体管芯,进一步包括:
栅极;
栅极接触件,在所述栅极之上;
第二金属线,由所述第一互连金属层形成;以及
第二通孔,将所述栅极接触件电耦合到所述第二金属线。
12.根据权利要求11所述的半导体管芯,其中所述第一金属线和所述第二金属线沿公共线延伸,并且所述第一金属线和所述第二金属线由间隙间隔开。
13.根据权利要求11所述的半导体管芯,其中所述第一金属线和所述第二金属线在同一横向方向上延伸。
14.根据权利要求11所述的半导体管芯,进一步包括:
输入金属线,由第二互连金属层形成;
第三通孔,将所述第二金属线电耦合到所述输入金属线;
输出金属线,由所述第二互连金属层形成;以及
第四通孔,将所述第一金属线电耦合到所述输出金属线。
15.根据权利要求14所述的半导体管芯,其中所述第一掺杂区包括NFET的N型掺杂区,并且所述第二掺杂区包括PFET的P型掺杂区。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





