[发明专利]滤波器装置

说明书

滤波器装置(1)具备：基板(50)，具有压电性；包含IDT电极(52)的第一滤波器(10)，设置在基板(50)上；端子用电极(30a)，设置在基板(50)上；第一布线电极(41)，设置在基板(50)上，将第一滤波器(10)和端子用电极(30a)相连；以及电介质膜(61)，设置在基板(50)上，使得覆盖IDT电极(52)。第一布线电极(41)的至少一部分未被电介质膜(61)覆盖。

技术领域

本发明涉及包含弹性波元件的滤波器装置及其制造方法。

背景技术

对于近年来的通信终端，要求由一个终端来应对多个频带以及多个无线方式，即，所谓的多频段化以及多模式化。为了应对于此，在一个天线配置对具有多个无线载波频率的高频信号进行分波的多工器。作为这种多工器的一个例子，在专利文献1公开了使用多个弹性波元件以及LC元件并组合了低通滤波器、带通滤波器的滤波器装置。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2016/117676号

发明内容

发明要解决的课题

然而，在上述通信终端中，例如，在处理WiFi(注册商标)频带以及Band7(Tx：2500～2570Mz，Rx：2620～2690MHz)的双方的频带的情况下，存在如下的问题，即，在滤波器装置产生互调失真(IMD(Intermodulation Distortion))、高次谐波失真，Band7的接收灵敏度下降。

因此，本发明的目的在于，在包含弹性波元件的滤波器装置中抑制IMD、高次谐波失真的产生。

用于解决课题的技术方案

为了达到上述目的，本发明的一个方式涉及的滤波器装置具备：基板，具有压电性；包含IDT(InterDigital Transducer，叉指换能器)电极的第一滤波器，设置在所述基板上；端子用电极，设置在所述基板上；第一布线电极，设置在所述基板上，将所述第一滤波器和所述端子用电极相连；以及电介质膜，设置在基板上，使得覆盖所述IDT电极，所述第一布线电极的至少一部分未被所述电介质膜覆盖。

像这样，通过与端子用电极连接的第一布线电极未被电介质膜覆盖，从而能够抑制在第一布线电极中阻碍电流的流动。由此，能够抑制在滤波器装置中产生IMD、高次谐波失真。

此外，也可以是，所述端子用电极未被所述电介质膜覆盖，并与天线端子连接。

由此，能够抑制在传输电力大的天线端子的近处产生的IMD、高次谐波失真。

滤波器装置还具备：第二滤波器，设置在所述基板上，包含与所述IDT电极不同的IDT电极；以及第二布线电极，设置在所述基板上，将所述第二滤波器和所述端子用电极相连，所述第二滤波器的所述IDT电极被所述电介质膜覆盖，所述第二布线电极的至少一部分未被所述电介质膜覆盖。

像这样，通过与端子用电极连接的第二布线电极未被电介质膜覆盖，从而能够抑制在第一布线电极中阻碍电流的流动。由此，能够抑制在滤波器装置中产生IMD、高次谐波失真。

此外，也可以是，所述第一布线电极以及所述第二布线电极各自全部未被电介质膜覆盖。

由此，能够进一步抑制在滤波器装置中产生IMD、高次谐波失真。

此外，也可以是，所述第一布线电极以及所述第二布线电极的未被所述电介质膜覆盖的部分与空气层相接。

像这样，通过使相对介电常数比电介质膜小的空气层与布线电极的未被上述电介质膜覆盖的部分相接，从而能够抑制在未被上述电介质膜覆盖的部分的布线电极中阻碍电流的流动。由此，能够进一步抑制在滤波器装置中产生IMD、高次谐波失真。