[发明专利]传感器元件及角速度传感器

说明书

传感器元件在俯视情况下具有压电体和多个电极。压电体包含基部以及从基部延伸出的至少一根臂部。多个电极位于臂部的表面。压电体在俯视情况下还包括将基部及臂部包围并架设有基部的框部。

技术领域

本公开涉及以供角速度的检测的传感器元件及包括该传感器元件的角速度传感器。

背景技术

作为角速度传感器，公知振动式的陀螺仪指示器(gyro scope)(例如专利文献1或2)。这样的角速度传感器，例如具有包括基部及从基部延伸的一个以上的臂部的振动体。在臂部被激励的状态下，若振动体旋转，则以与旋转速度(角速度)相应的大小，在激励方向及与旋转轴正交的方向上产生科氏力，臂部也借助该科氏力来振动。而且，通过检测根据该科氏力引起的臂部的变形而产生的电信号，从而能够检测角速度。

在专利文献1中，基部及多个臂部通过压电体一体地形成。再有，在包含压电体的臂部的表面设置有电极，由此臂部能被激励，或者与臂部的变形相应的信号能被检测。还有，在专利文献1中，基部通过与该基部一起由压电体一体形成的臂状部位来支承。

在专利文献2中，基部及多个臂部由硅一体形成。另外，压电体和电极层叠在臂部的表面，由此臂部能被激励，或者与臂部的变形相应的信号能被检测。在专利文献2中，基部通过与该基部一起由硅一体形成的框状部位来支承。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-141184号公报

专利文献2：日本特开2003-185441号公报

发明内容

本公开的一方式所涉及的传感器元件在俯视情况下具有压电体和多个电极。所述压电体包含基部以及从该基部延伸出的一个以上的臂部。所述多个电极位于所述臂部的表面。所述压电体还包括在俯视情况下将所述基部及所述一个以上的臂部包围且被架设有所述基部的框部。

本公开的一方式所涉及的角速度传感器具有：上述的传感器元件；向所述多个电极的一部分施加电压的驱动电路；以及对来自所述多个电极的另一部分的信号进行检测的检测电路。

附图说明

图1是表示第一实施方式所涉及的传感器元件的主要部位结构的立体图。

图2是表示图1的传感器元件的主要部位结构的俯视图。

图3的(a)是图2的IIIa-IIIa线处的剖视图，图3的(b)是图2的IIIb-IIIb线处的剖视图。

图4是表示第二实施方式所涉及的传感器元件的主要部位结构的俯视图。

图5是图4的V-V线处的剖视图。

图6的(a)、图6的(b)、图6的(c)及图6的(d)是用于说明图4的传感器元件的作用的示意图。

图7是表示第三实施方式所涉及的传感器元件的主要部位结构的剖视图。

图8的(a)及图8的(b)是用于说明图7的传感器元件的作用的示意图。

图9是表示第四实施方式所涉及的传感器元件的主要部位结构的俯视图。

图10是表示第五实施方式所涉及的传感器元件的主要部位结构的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图来说明本公开所涉及的实施方式。以下的附图是示意性的图。因此，有时省略细节，还有，尺寸比率等未必一定要和现实的尺寸比率一致。另外，多个附图相互的尺寸比率也未必一定要一致。