[发明专利]传感器元件及角速度传感器

权利要求书

1.一种传感器元件，具有：

压电体，在俯视情况下，包含基部以及从该基部延伸出的一个以上的臂部；和

多个电极，位于所述臂部的表面，

所述压电体还包括框部，该框部在俯视情况下将所述基部及所述一个以上的臂部包围，且所述基部被架设于所述框部。

2.根据权利要求1所述的传感器元件，其中，

所述传感器元件还具有位于所述压电体的表面的多个布线，

所述基部在正交坐标系xyz的x轴方向上被架设于所述框部，

所述一个以上的臂部包含：

在x轴方向上相互分离的位置处沿y轴方向相互并列地延伸的一对驱动臂；以及

在x轴方向上成为所述一对驱动臂之间的中央的位置处沿y轴方向延伸的检测臂，

所述多个电极包含：

以能施加在x轴方向上激励所述一对驱动臂的电压的配置被设置的多个激励电极；以及

以能检测通过所述检测臂的x轴方向或者z轴方向的振动而产生的信号的配置被设置的多个检测电极，

所述多个布线将所述多个激励电极连接成从所述多个激励电极向所述一对驱动臂施加相互相反的相位，以使得所述一对驱动臂在x轴方向上朝相互相反侧弯曲并振动。

3.根据权利要求2所述的传感器元件，其中，

所述多个检测电极以能检测通过所述检测臂的z轴方向上的弯曲变形而产生的信号的配置被设置。

4.根据权利要求2所述的传感器元件，其中，

所述多个检测电极以能检测通过所述检测臂的x轴方向上的弯曲变形而产生的信号的配置被设置。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的传感器元件，其中，

所述传感器元件还具有多个焊盘，所述多个焊盘位于所述压电体的表面且与所述多个电极连接，

所述压电体具有在俯视情况下从所述框部朝该框部的外侧延伸而出且设置有所述多个焊盘的多个脚部。

6.根据权利要求5所述的传感器元件，其中，

所述多个脚部的至少一个包含在所述框部与所述焊盘之间沿着所述框部的外周的至少一部分延伸的部分。

7.根据权利要求4或5所述的传感器元件，其中，

所述多个脚部的至少一个包含在所述框部与所述焊盘之间弯折并延伸的部分。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的传感器元件，其中，

所述传感器元件还具有多个焊盘，所述多个焊盘位于所述压电体的表面且与所述多个电极连接，

所述压电体包含：

在俯视情况下从所述框部朝该框部的外侧突出的突起部；以及

被连接于所述突起部的前端且设置有所述多个焊盘的安装部。

9.根据权利要求8所述的传感器元件，其中，

所述多个焊盘全部被设置于所述安装部，

将所述安装部与所述框部连接的所述突起部为一个或者两个。

10.根据权利要求8或9所述的传感器元件，其中，

所述安装部是将所述框部包围的框状。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的传感器元件，其中，

所述框部包括在x轴方向上相互对置且被架设所述基部的一对延伸部，

在所述一对延伸部各自的一部分中，x轴方向的宽度缩窄。

12.一种角速度传感器，其中，具有：

权利要求1～11中任一项所述的传感器元件；

驱动电路，向所述多个电极的一部分施加电压；以及

检测电路，对来自所述多个电极的另一部分的信号进行检测。