[发明专利]高架搬运车、输送系统、以及高架搬运车的控制方法

说明书

本发明涉及高架搬运车、输送系统、以及高架搬运车的控制方法。减少储存物品的主体部内的空间而实现主体部以及高架搬运车的小型化，并且以与移载目的地对应的方式使物品旋转规定角度以上。该高架搬运车具备：行驶部；主体部；具有保持部、移动机构以及旋转机构，在其与移载目的地之间交接物品的移载部；以及控制部，主体部在通过旋转机构使位于储存位置的保持部旋转规定角度θ的情况下，在被保持部保持的物品抵接的位置具有内壁，控制部在使保持部位于储存位置并通过行驶部行驶，进行物品交接时，通过移动机构使保持部位于脱离位置，并通过旋转机构使保持部绕旋转轴旋转规定角度θ以上，从而使物品与移载目的地的规定的朝向一致。

技术领域

本发明涉及高架搬运车、输送系统、以及高架搬运车的控制方法。

背景技术

在半导体制造工厂等制造工厂中，为了在处理装置的装载端口、保管部或者交接端口等移载目的地之间输送收纳半导体晶圆的FOUP或者收纳标线片的标线片Pod等物品，提出了使用沿着被铺设在顶棚的轨道行驶的高架搬运车的输送系统。高架搬运车具备：在轨道行驶的行驶部、以及以与行驶部一体地移动的方式被安装于行驶部的主体部(例如，参照专利文献1)。专利文献1记载了在这样的高架搬运车中，主体部具有储存物品时，从行驶方向的前后夹住该物品的内壁，并且具有保持物品的物品保持部、使物品保持部升降的升降驱动部、使升降驱动部相对于主体部向行驶方向的侧方突出的横向伸出机构、以及使升降驱动部旋转的旋转机构的结构。

专利文献1：日本特开2001-171970号公报

高架搬运车在FOUP等的输送时将开闭盖相对于行驶方向设为横朝向而储存在主体部。在该状态下，往往即使将FOUP等载置于装载端口等而开闭盖也不与处理装置等对置。因此，为了使FOUP等的开闭盖与处理装置等对置，往往需要在载置前使FOUP等绕上下方向的轴旋转。专利文献1所记载的高架搬运车采用了具有使物品旋转的旋转机构，在使旋转机构的旋转轴从轨道的中心线偏移了的状态下使物品旋转的构成。该高架搬运车将被保持部保持的物品设置为在被储存于主体部内的状态下能够绕上下方向的旋转轴旋转，并且减小主体部内的物品的旋转空间，防止在旋转时物品干涉主体部的内壁。但是，为了在将物品储存于主体部内的状态下使物品旋转，需要在主体部内设置用于允许物品的旋转的空间。其结果是，存在主体部的外形尺寸变大而导致高架搬运车的大型化这样的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够减少储存物品的主体部内的空间而实现主体部以及高架搬运车的小型化，并且能够以与移载目的地对应的方式使物品旋转规定角度以上的高架搬运车、输送系统、以及高架搬运车的控制方法。

本发明的高架搬运车具备：行驶部，其在被设置于顶棚或者顶棚附近的轨道上行驶；主体部，其被安装于行驶部；移载部，其具有保持物品的保持部、在被保持部保持的物品被储存于主体部内的储存位置与从主体部脱离的脱离位置之间使保持部移动的移动机构、以及使保持部绕上下方向的旋转轴旋转的旋转机构，上述移载部在该移载部与以规定的朝向载置物品的移载目的地之间交接物品；以及控制部，其控制行驶部以及移载部的动作，主体部，在通过旋转机构使位于储存位置的保持部旋转了规定角度旋转的情况下被保持部保持的物品抵接的位置具有内壁，控制部，在通过移动机构使保持部位于储存位置的状态下利用行驶部而行驶，在通过移载部相对于移载目的地进行物品的交接时，在通过移动机构使保持部位于脱离位置的状态下，通过旋转机构使保持部旋转规定角度以上，从而使被保持部保持的物品与移载目的地的规定的朝向一致。

另外，移动机构也可以具有在储存位置、与被保持部保持的物品从主体部向下方脱离的脱离位置之间使保持部升降的升降驱动部。另外，旋转机构也可以能够升降，保持部也可以被设置于旋转机构。

另外，移动机构也可以具有在储存位置、与被保持部保持的物品从主体部向横向脱离的脱离位置之间使保持部沿轨道的横向进退的横向伸出机构。另外，横向伸出机构以及保持部的行驶方向的尺寸也可以比被储存于主体部内的物品的行驶方向的尺寸小。