[发明专利]金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法

权利要求书

1.一种由下述通式(1)表示的金属醇盐化合物：

式中，R¹表示氢原子或者碳原子数1～4的烷基，R²表示异丙基、仲丁基、叔丁基、仲戊基、1-乙基丙基或者叔戊基，R³表示氢或者碳原子数1～4的烷基，R⁴表示碳原子数1～4的烷基，M表示钪原子、钇原子、镧原子、铈原子、镨原子、钕原子、钷原子、钐原子、铕原子、钆原子、铽原子、镝原子、钬原子、铒原子、铥原子、镱原子或者镥原子，n表示由M表示的原子的价数，其中，在M为镧原子的情况下，R²为仲丁基、叔丁基、仲戊基、1-乙基丙基或者叔戊基。

2.一种薄膜形成用原料，其含有根据权利要求1所述的金属醇盐化合物。

3.一种薄膜的制造方法，是在基体的表面制造薄膜的方法，所述薄膜含有选自钪原子、钇原子、镧原子、铈原子、镨原子、钕原子、钷原子、钐原子、铕原子、钆原子、铽原子、镝原子、钬原子、铒原子、铥原子、镱原子和镥原子中的至少一种原子，该方法包含下述工序：将通过使权利要求2所述的薄膜形成用原料气化而得到的含有所述化合物的蒸气导入到处理气氛、使该化合物分解和/或化学反应而在所述基体的表面沉积。