[发明专利]探针、检查工具、检查单元和检查装置

说明书

探针具有弹性部、第1接触部和第2接触部。弹性部具有延伸方向的一端部与第1接触部连接的第1直线部、延伸方向的一端部与第1直线部的延伸方向的另一端部连接的弯曲部、以及延伸方向的一端部与弯曲部的延伸方向的另一端部连接的第2直线部，弯曲部的中心角构成为大于90度且小于180度。

技术领域

本发明涉及探针、具有该探针的检查工具、具有该检查工具的检查单元和具有该检查单元的检查装置。

背景技术

在照相机或液晶面板等电子部件模块中，一般而言，在其制造工序中进行导通检查和动作特性检查等。使用探针将用于与设置于电子部件模块的主体基板连接的FPC接触电极或所安装的基板对基板连接器等电极部和检查装置连接起来，由此进行这些检查。

作为这种探针，例如存在专利文献1所记载的探针。该探针具有能够与电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子分别接触的一对触头、以及介于一对触头之间且连接一对触头的蛇行部。在所述探针中，通过蛇行部确保各触头与电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子之间的接触压力，提高针对电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子的接触可靠性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-134202号公报

发明内容

发明要解决的课题

近年来，伴随着电子部件模块之间发送接收的信息量的增大等，要求电子部件模块的检查所使用的探针也应对高频区域的信号。

但是，在专利文献1的探针中，不能说一定能够充分应对高频区域的信号，在电子部件模块的检查时流过探针的高频区域的信号的损失有时较大。

本发明的目的在于，提供确保针对检查对象物和检查装置的接触可靠性且能够降低高频区域的信号的损失的探针、具有该探针的检查工具、具有该检查工具的检查单元和具有该检查单元的检查装置。

用于解决课题的手段

本发明的一例的探针具有：弹性部，其沿着长度方向伸缩；板状的第1接触部，其与所述弹性部的所述长度方向的第1端部连接；以及板状的第2接触部，其相对于所述第1接触部直列地配置，与所述弹性部的所述长度方向的第2端部连接，所述弹性部具有：第1直线部，其沿与所述长度方向交叉的方向延伸，并且该第1直线部的延伸方向的一端部与所述第1接触部连接；弯曲部，其呈圆弧状延伸，所述圆弧状向与所述长度方向交叉且远离所述第1接触部的方向突出，并且，该弯曲部的延伸方向的一端部与所述第1直线部的延伸方向的另一端部连接；以及第2直线部，其沿与所述长度方向交叉的方向延伸，并且该第2直线部的延伸方向的一端部与所述弯曲部的延伸方向的另一端部连接，所述弯曲部的中心角构成为大于90度且小于180度。

此外，本发明的一例的检查工具具有：所述探针；以及外壳，其具有能够收纳所述探针的收纳部，所述探针以所述弯曲部的中心角大于90度且小于180度的方式收纳于所述收纳部。

此外，本发明的一例的检查单元具有至少一个所述检查工具。

此外，本发明的一例的检查装置具有至少一个所述检查单元。

发明效果