[发明专利]探针、检查工具、检查单元和检查装置

权利要求书

1.一种探针，该探针具有：

弹性部，其沿着长度方向伸缩；

板状的第1接触部，其与所述弹性部的所述长度方向的第1端部连接；以及

板状的第2接触部，其相对于所述第1接触部直列地配置，与所述弹性部的所述长度方向的第2端部连接，

所述弹性部具有：

第1直线部，其沿着与所述长度方向交叉的方向延伸，并且该第1直线部的延伸方向的一端部与所述第1接触部连接；

弯曲部，其呈圆弧状延伸，所述圆弧状向与所述长度方向交叉且远离所述第1接触部的方向突出，并且，该弯曲部的延伸方向的一端部与所述第1直线部的延伸方向的另一端部连接；以及

第2直线部，其沿着与所述长度方向交叉的方向延伸，并且该第2直线部的延伸方向的一端部与所述弯曲部的延伸方向的另一端部连接，

所述弯曲部的中心角构成为大于90度且小于180度，

所述弹性部由相互隔开间隙配置的多个带状弹性片构成，

所述多个带状弹性片各自的宽度构成为比相邻的所述多个带状弹性片之间的最短距离小。

2.一种检查工具，其具有：

权利要求1所述的探针；以及

插座，其具有能够收纳所述探针的收纳部，

所述探针以所述弯曲部的中心角大于90度且小于180度的方式收纳于所述收纳部。

3.一种检查单元，其具有至少一个权利要求2所述的检查工具。

4.一种检查装置，其具有至少一个权利要求3所述的检查单元。