[发明专利]阀以及流体供给管线

权利要求书

1.一种流体供给管线，具备流量控制装置以及阀，所述阀具备阀本体以及与所述阀本体连结的驱动压力控制装置，

所述驱动压力控制装置具有：

第一驱动压力导入通道，其与管线外的驱动压力供给源连接；

第一自动阀，其将所述第一驱动压力导入通道打开或关闭；

第二驱动压力导入通道，其与所述阀本体的驱动压力导入口连结；

第二自动阀，其与所述第一自动阀联动来将所述第二驱动压力导入通道打开或关闭，而且将排气通路打开或关闭，所述排气通路从所述第二驱动压力导入通道释放驱动压力；以及

第三驱动压力导入通道，其经由所述第一自动阀以及所述第二自动阀来连结所述第一驱动压力导入通道与所述第二驱动压力导入通道，

所述流体供给管线的特征在于，

所述流体供给管线具备：

第一连接单元，其将所述流体供给管线外的机构与所述流量控制装置进行连接；以及

第二连接单元，其在所述流体供给管线从所述第一连接单元分支出来与所述阀连接。

2.根据权利要求1所述的流体供给管线，其中，

所述第一连接单元以及所述第二连接单元是从所述流体供给管线外的机构供给用于驱动所述阀的驱动压力的驱动压力供给通道。

3.根据权利要求1所述的流体供给管线，其中，

所述第一连接单元以及所述第二连接单元是能使所述流体供给管线外的机构与所述流量控制装置以及阀进行通信的电气布线。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的流体供给管线，其中，

多个所述流体供给管线并排设置而构成气体组件，

所述第一连接单元在所述气体组件的附近按多个所述流体供给管线的每个所述流体供给管线进行分支，来与多个所述流体供给管线上的每个流量控制装置连接。

5.根据权利要求1所述的流体供给管线，其中，

所述流量控制装置是流量范围可变型流量控制装置，

所述流量范围可变型流量控制装置至少设置小流量用流体通路和大流量用流体通路来作为流量控制装置到流量检测部的流体通路，

所述流量范围可变型流量控制装置使小流量区域的流体经由所述小流量用流体通路向流量检测部流通，且根据驱动压力的供给有无来将流量控制部的检测等级切换成适合小流量区域的检测的检测等级，另外，使大流量区域的流体经由所述大流量用流体通路向所述流量检测部流通，且根据驱动压力的供给有无来将流量控制部的检测等级切换成适合大流量区域的流量的检测的检测等级，从而分别切换大流量区域的流体与小流量区域的流体来进行流量控制。

6.根据权利要求5所述的流体供给管线，其中，

供给至所述流量范围可变型流量控制装置的驱动压力经由所述流量范围可变型流量控制装置而被供给至其他流体控制设备。

7.根据权利要求1所述的流体供给管线，其中，

所述流量控制装置是差压式流量控制装置，

所述差压式流量控制装置具有：

控制阀部，其具备阀驱动部；

节流孔，其设置于所述控制阀的下游侧；

所述节流孔的上游侧的流体压力的检测器；

所述节流孔的下游侧的流体压力的检测器；

所述节流孔的上游侧的流体温度的检测器；以及

控制运算电路，其使用来自各所述检测器的检测压力以及检测温度来运算流体流量，并具备流量比较电路，所述流量比较电路对运算流量与设定流量之差进行运算。