[发明专利]用于移动基板的方法和系统以及用于评估基板的方法

权利要求书

1.一种用于移动基板的系统，所述系统包含：

腔室，所述腔室包含：腔室壳体，所述腔室壳体包含：开口；

夹盘，所述夹盘经配置以支撑所述基板；

移动系统，所述移动系统机械地耦接至所述夹盘且设置在所述腔室的外部；

控制器，所述控制器经配置以控制所述移动系统；

中间元件，所述中间元件被设置在所述腔室壳体与所述移动系统之间；

至少一个密封元件，所述至少一个密封元件经配置以在所述中间元件与所述腔室壳体之间形成动态密封，其中所述动态密封相对于所述移动系统密封所述腔室；及

其中所述移动系统经配置以对于所述基板的多个区域中的所述基板的每一区域重复以下步骤：

旋转所述夹盘以将所述基板的所述区域的给定部分放置在与所述腔室壳体的所述开口相关的视域内；及

相对于所述开口移动所述夹盘以将所述基板的所述区域的额外的部分放置在与所述开口相关的所述视域内。

2.如权利要求1所述的系统，其中所述移动系统包含：用于旋转所述夹盘的旋转平台。

3.如权利要求1所述的系统，其中所述移动系统包含：用于相对于所述开口移动所述夹盘的X轴和Y轴平台。

4.如权利要求1所述的系统，其中所述移动系统经配置以在相对于所述开口移动所述夹盘的同时相对于所述腔室壳体移动所述中间元件。

5.如权利要求1所述的系统，其中所述移动系统经配置以在任何方向上移动所述中间元件达到最大距离，其中所述最大距离不超过所述基板的半径的百分之一百二十。

6.如权利要求1所述的系统，所述系统进一步包含：在相对于所述基板的固定位置的传感器。

7.一种用于移动在腔室内的基板的方法，所述腔室包含腔室壳体，所述方法包含以下步骤：

将所述基板放置在夹盘上，所述夹盘设置在所述腔室内；其中所述夹盘机械地耦接至移动系统；

通过至少一个密封元件在中间元件与所述腔室壳体之间形成动态密封的方式相对于所述移动系统密封所述腔室；其中所述中间元件设置在所述腔室壳体与所述移动系统之间；

对于所述基板的多个区域中的所述基板的每一区域，重复以下所述步骤：

通过所述移动系统旋转所述夹盘以将所述基板的所述区域的给定部分放置在与所述腔室壳体的开口相关的视域内；及

通过所述移动系统相对于所述开口移动所述夹盘以将所述基板的所述区域的额外的部分放置在与所述开口相关的所述视域内。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述基板具有径向对称性，并且其中所述多个区域包含：四个区域。

9.如权利要求7所述的方法，其中所述夹盘的旋转的步骤包含以下步骤：使用所述移动系统的旋转平台来旋转所述夹盘。

10.如权利要求7所述的方法，其中所述夹盘的移动的步骤包含以下步骤：使用所述移动系统的X轴和Y轴平台。

11.如权利要求7所述的方法，所述方法进一步包含以下步骤：在相对于所述开口移动所述夹盘的同时相对于所述腔室壳体移动所述中间元件。

12.如权利要求11所述的方法，所述方法进一步包含以下步骤：在任何方向上移动所述中间元件达到最大距离，其中所述最大距离不超过所述基板的半径的百分之一百二十。