[发明专利]电容器有效

专利信息
申请号: 201880048521.0 申请日: 2018-07-11
公开(公告)号: CN110959188B 公开(公告)日: 2023-10-03
发明(设计)人: 原田真臣;泉谷淳子;香川武史;松原弘 申请(专利权)人: 株式会社村田制作所
主分类号: H01L21/822 分类号: H01L21/822;H01L27/04
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王玮;张丰桥
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 电容器
【权利要求书】:

1.一种电容器,具备:

基板;

下部电极,形成在上述基板上;

介电膜,形成在上述下部电极上;

上部电极,形成在上述介电膜上的局部;

保护层,覆盖上述下部电极以及上述上部电极;以及

外部电极,贯通上述保护层,

在从上方观察电容器的俯视时,上述外部电极仅形成在被上述上部电极的周缘划定的区域内。

2.根据权利要求1所述的电容器,其中,

上述上部电极具备第一上部电极以及第二上部电极,上述第一上部电极与上述第二上部电极分开形成

上述外部电极具备:与上述第一上部电极连接的第一外部电极、以及与上述第二上部电极连接的第二外部电极,

上述第一外部电极仅形成在被上述第一上部电极的周缘划定的区域内,

上述第二外部电极仅形成在被上述第二上部电极的周缘划定的区域内。

3.根据权利要求2所述的电容器,其中,

上述下部电极具备第一下部电极以及第二下部电极,上述第一下部电极与上述第二下部电极分开形成,

上述上部电极具备:形成在上述第一下部电极上的上述第一上部电极、形成在上述第二下部电极上的上述第二上部电极、以及跨上述第一下部电极以及上述第二下部电极形成的第三上部电极。

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