[发明专利]双面压印

说明书

提供了用于双面压印的系统、装置和方法。示例系统包括：用于移动第一幅材的第一辊，第一幅材包括具有第一压印特征的第一模板；用于移动第二幅材的第二辊，第二幅材包括具有第二压印特征的第二模板；用于分配抗蚀剂的分配器；用于定位第一幅材和第二幅材上的参考标记从而使第一模板和第二模板对准的定位系统；用于固化抗蚀剂的光源，使得固化的第一抗蚀剂在基板的一侧上具有与第一压印特征相对应的第一压印的特征，并且固化的第二抗蚀剂在基板另一侧上具有与第二压印特征相对应的第二压印的特征；以及用于在第一模板和第二模板之间进给基板并从第一幅材和第二幅材卸载双压印的基板的移动系统。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2017年5月25日提交的第62/511,172号美国临时申请的申请日的权益。该第62/511,172号美国申请的内容全文通过引用并入在此。

技术领域

本公开总体上涉及压印技术，尤其涉及双面压印。

背景技术

当开发用于从在基板上创建单面印记(imprint)到根据模板在两面上印记过渡的过程和/或工具时，要克服许多挑战。挑战可以包括：将基板与模板进行定位和对准，定位参考特征以帮助对准，在没有滞留空气和缺陷的情况下创建印记，以及保持基板而不损坏。

发明内容

本公开描述了用于双面压印的方法、设备和系统，其已经解决了上述挑战。

本公开的一个方面的特征在于，一种双面压印方法，该方法包括：沿着第一辊拉动第一幅材并且沿着第二辊拉动第二幅材，第一幅材包括第一模板，并且第二幅材包括第二模板；使第一幅材和第二幅材上的参考标记对准，以使第一模板和第二模板彼此对准；沿着第一辊在第一方向上拉动第一幅材以将第一模板暴露于第一分配器，并且沿着第二辊在第二方向上拉动第二幅材以将第二模板暴露于第二分配器；通过第一分配器在第一模板上分配第一抗蚀剂，并且通过第二分配器在第二模板上分配第二抗蚀剂；沿着第一辊在与第一方向相反的方向上拉动第一幅材，并且沿着第二辊在与第二方向相反的方向上拉动第二幅材，使得具有第一抗蚀剂的第一模板和具有第二抗蚀剂的第二模板彼此面对；在具有第一抗蚀剂的第一模板和具有第二抗蚀剂的第二模板之间插入基板；固化第一抗蚀剂和第二抗蚀剂，以使固化的第一抗蚀剂在基板的第一面上具有与第一模板相关联的第一被压印的特征，并且固化的第二抗蚀剂在基板的第二面上具有与第二模板相关联的第二被压印的特征；以及卸载在第一面上具有第一被压印的特征并且在第二面上具有第二被压印的特征的基板。

在一些实施方式中，该方法还包括：在对准之后，在与参考标记相邻的位置处将第一幅材和第二幅材夹紧，使得被夹紧的第一幅材和第二幅材与彼此对准的第一模板与第二模板一起移动；并且在固化之后，松开第一幅材和第二幅材，使得具有固化的第一抗蚀剂和第二抗蚀剂的基板能够穿过第一幅材和第二幅材之间的间隙。夹紧第一幅材和第二幅材可以包括致动卡盘和夹具，使得卡盘在第一幅材上并且夹具在第二幅材上。该卡盘可以包括真空卡盘，该真空卡盘被配置为利用真空将其卡紧到第一幅材上。在一些示例中，卡盘被配置为能够沿着平行于由第一辊限定的轴线的轨道移动，并且在夹紧之后，卡盘和夹具与第一幅材和第二幅材一起移动。卡盘可以定位在一对引导件上，并且每个引导件能够在连接到框架的相应轨道上移动。使第一幅材和第二幅材上的参考标记对准可以包括在x、y或θ方向中的至少一个方向上调整引导件在相应轨道上的相对位置。

第一辊和第二辊可以被布置为使得，在插入之后，将基板与第一模板和第二模板一起移动，并且将第一抗蚀剂按压到基板的第一面上并填充到第一模板上的第一压印特征中，并且将第二抗蚀剂按压在基板的第二面上并填充到第二模板上的第二压印特征中。

该方法还可以包括：在第一幅材上移动第一挤压辊以将第一模板推入第一抗蚀剂中，使得第一抗蚀剂填充到第一模板上的第一压印特征中；以及在第二幅材上移动第二挤压辊以将第二模板推入第二抗蚀剂中，使得第二抗蚀剂填充到第二模板上的第二压印特征中。在将第一挤压和第二挤压一起移动期间，第一挤压辊和第二挤压辊可以彼此相对地定位。