[发明专利]双面压印

权利要求书

1.一种双面压印的方法，包括：

沿着第一辊拉动第一幅材，并且沿着第二辊拉动第二幅材，所述第一幅材包括第一模板，并且所述第二幅材包括第二模板；

将所述第一幅材和所述第二幅材上的参考标记对准，以使得所述第一模板和所述第二模板彼此对准；

在第一方向上沿着所述第一辊拉动所述第一幅材以将所述第一模板暴露于第一分配器，并且在第二方向上沿着所述第二辊拉动所述第二幅材以将所述第二模板暴露于第二分配器；

通过所述第一分配器在所述第一模板上分配第一抗蚀剂，并且通过所述第二分配器在所述第二模板上分配第二抗蚀剂；

在与所述第一方向相反的方向上沿着所述第一辊拉动所述第一幅材，并且在与所述第二方向相反的方向上沿着所述第二辊拉动所述第二幅材，以使得具有所述第一抗蚀剂的所述第一模板和具有所述第二抗蚀剂的所述第二模板彼此面对；

在具有所述第一抗蚀剂的所述第一模板和具有所述第二抗蚀剂的所述第二模板之间插入基板；

固化所述第一抗蚀剂和所述第二抗蚀剂，以使得固化的第一抗蚀剂在所述基板的第一面上具有与所述第一模板相关联的第一被压印特征，并且固化的第二抗蚀剂在所述基板的第二面上具有与所述第二模板相关联的第二被压印特征；以及

卸载在所述第一面上具有所述第一被压印特征以及在所述第二面上具有所述第二被压印特征的所述基板。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括：

在所述对准之后，在与所述参考标记相邻的位置处夹紧所述第一幅材和所述第二幅材，以使得夹紧的第一幅材和第二幅材随着彼此对准的所述第一模板和所述第二模板移动，以及

在所述固化之后，松开所述第一幅材和所述第二幅材，以使得具有固化的第一抗蚀剂和第二抗蚀剂的所述基板能够穿过所述第一幅材和所述第二幅材之间的间隙。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，夹紧所述第一幅材和所述第二幅材包括：

利用夹具致动卡盘，以使得所述卡盘在所述第一幅材上以及所述夹具在所述第二幅材上。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述卡盘包括真空卡盘，所述真空卡盘被配置为利用真空卡紧在所述第一幅材上。

5.根据权利要求3所述的方法，其中，所述卡盘被配置为能够沿着平行于由所述第一辊限定的轴线的轨道移动，以及

其中，在所述夹紧之后，所述卡盘和所述夹具与所述第一幅材和所述第二幅材一起移动。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述卡盘位于一对引导件上，并且每个所述引导件能够在连接到框架的相应的轨道上移动。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，将所述第一幅材和所述第二幅材上的参考标记对准包括：在x、y或θ方向中的至少一个方向上调整所述引导件在所述相应的轨道上的相对位置。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一辊和所述第二辊被布置为使得：在所述插入之后，所述基板与所述第一模板和所述第二模板一起移动，并且所述第一抗蚀剂被按压到所述基板的所述第一面上并被填充到所述第一模板上的第一压印特征中，并且所述第二抗蚀剂被按压到所述基板的所述第二面上并被填充到所述第二模板上的第二压印特征中。

9.根据权利要求1所述的方法，还包括：

在所述第一幅材上移动第一挤压辊以将所述第一模板推入所述第一抗蚀剂中，以使得所述第一抗蚀剂填充到所述第一模板上的第一压印特征中；以及

在所述第二幅材上移动第二挤压辊以将所述第二模板推入所述第二抗蚀剂中，以使得所述第二抗蚀剂填充到所述第二模板上的第二压印特征中。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，在一起移动所述第一挤压辊和所述第二挤压辊期间，所述第一挤压辊和所述第二挤压辊被定位成彼此相对。