[发明专利]流体组装基片和制备方法

说明书

实施方式涉及具有一个或多个阱结构的基片，每个阱结构具有基本垂直的侧壁和基本平坦的底部。

相关申请的交叉引用

本申请要求2017年6月2日提交的美国临时申请序列第62/514,196号的优先权，其内容作为本申请的基础，并通过引用整体并入本文，如同在下面完整阐述一样。

发明领域

实施方式涉及具有一个或多个阱结构(well structure)的基片，每个阱结构具有基本垂直的侧壁和基本平坦的底部。

背景

LED显示器、LED显示组件和阵列LED器件包括大量二极管，这些二极管放置在整个显示器或器件表面的指定位置。流体组装可以用于相对于基片组装二极管。这种组装通常是随机过程，LED器件由此沉积到基片上的阱中。使用传统方法在基片的表面上形成这样的阱通常依赖于在沉积在玻璃基片上的聚合物膜中形成阱。这样的聚合物膜表现出差的透明度和热稳定性。透明度差会导致显示器发出黄色或灰色调。有限的热稳定性限制了工艺与后续电触点形成和钝化的兼容性。

因此，至少由于上述原因，本领域需要用于在基片上制造物理结构的先进系统和方法。

概述

实施方式涉及具有一个或多个阱结构的基片，每个阱结构具有基本垂直的侧壁和基本平坦的底部。

本概述仅提供本发明的一些实施方式的概要。短语“在一个实施方式中”、“根据一个实施方式”、“在各种实施方式中”、“在一个或多个实施方式中”、“在特定实施方式中”等，通常是指短语之后的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施方式中，并且可以包括在本发明的一个以上的实施方式中。重要的是，这样的短语不一定指相同的实施方式。根据以下详细描述、所附权利要求书和附图，本发明的许多其他实施方式将变得更加显而易见。

附图说明

通过参考在说明书的其余部分中描述的附图，可以实现对本发明的各种实施方式的进一步理解。在附图中，几幅图中贯穿使用的相同附图标记指代相似的部件。在某些情况下，由小写字母组成的子标签与附图标记关联，以表示多个相似组件中的一个。当提到附图标记但附图标记没有标明现有子标签时，意在指代所有这样的多个相似部件。

图1a-1b描绘了根据本发明的一个或多个实施方式的流体组装系统，该系统能够相对于包括多个阱的流体组装基片移动包括载液和多个物体的悬浮液；

图1c是来自扫描电子显微镜的图像，其示出了阱侧壁的不平坦外边缘，这是部分由于根据本发明的一些实施方式的用于硬掩模的材料的粒度而导致的；

图2a-2b描绘了根据本发明的一些实施方式的阱结构；

图2c是来自扫描电子显微镜的图像，其示出了根据本发明的一些实施方式可实现的井的基本垂直的侧壁；

图3是描绘根据本发明的各种实施方式在流体组装基片中形成阱结构的实施方式的方法的流程图；

图4a-4b描绘了根据本发明的其他实施方式的阱结构；

图5是流程图，描绘了根据本发明的进一步的实施方式在流体组装基片中形成阱结构的方法。

具体实施方式

实施方式涉及具有一个或多个阱结构的基片，每个阱结构具有基本垂直的侧壁和基本平坦的底部。

本发明的各种实施方式是流体组装基片。这样的流体组装基片包括：透明基片和无机流体结构层。无机流体结构层设置在透明基片上并且由无机材料形成。无机流体结构层包括多个结构，每个结构暴露透明基片的一部分顶表面。