[发明专利]用于制备锗-硅-层的三苯基甲锗烷基甲硅烷和三氯甲硅烷基-三氯甲锗烷及其制备方法有效
申请号: | 201880035956.1 | 申请日: | 2018-05-23 |
公开(公告)号: | CN110799458B | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | J.泰希曼;M.瓦格纳;H-W.莱尔纳 | 申请(专利权)人: | 赢创运营有限公司 |
主分类号: | C01B33/04 | 分类号: | C01B33/04;C01B33/06;C01B33/107;H01L21/205 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张华;周齐宏 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制备 苯基 烷基 硅烷 三氯甲 三氯甲锗烷 及其 方法 | ||
用于制备锗‑硅‑层(Ge‑Si)或作为甲硅烷基团(SiH3)的转移剂的三苯基甲锗烷基甲硅烷(Ph3Ge‑SiH3)。通过在溶液中用氢化物还原三氯甲硅烷基‑三苯基甲锗烷(Ph3Ge‑SiCl3)来制备三苯基甲锗烷基甲硅烷(Ph3Ge‑SiH3)的方法。通过在溶液中在AlCl3存在下使三氯甲硅烷基三苯基甲锗烷(Ph3Ge‑SiCl3)与氯化氢(HCl)反应来制备三氯甲硅烷基三氯甲锗烷(Cl3Ge‑SiCl3)的方法。三氯甲硅烷基三氯甲锗烷用于制备锗‑硅‑层(Ge‑Si)的用途。
本发明涉及新的化合物三苯基甲锗烷基甲硅烷、其制备方法及其用途。
卤代硅烷、多卤代硅烷、卤代锗烷、多卤代锗烷、甲硅烷、聚硅烷、甲锗烷、聚锗烷以及相应的混合化合物是长期已知的,除了常见的无机化学教科书之外也参见WO 2004/036631 A2或C.J. Ritter等人, J. Am. Chem. Soc., 2005,
此外,L. Müller 等人在J. Organomet. Chem., 1999,
由Angew. Chem., 1993,
此外已知存在Sn-Si以及Sn-Ge键的包含苯基和氢的化合物(J.B. Tice等人, J.Inorganic Chemistry, 2009, 48(13), 6314-6320)。在此建议将这些化合物用作IR半导体。
Singh等人在专利文献US 7,540,920 B2中公开了具有氢-或卤素-基团X1 - 6的式X1X2X3-Si-Ge- X4X5X6的Si-Ge化合物。
迄今为止,关于三苯基甲锗烷基硅烷是未知的。因此,从基础研究方面,致力于找到该化合物并找到合适的尽可能简单的制备途径。
本发明的目的在于,制备三苯基甲锗烷基硅烷并提供它们。
根据本发明,所述目的根据本申请的专利权利要求得以实现。
已经以令人惊讶的方式发现,当将三氯甲硅烷基三苯基甲锗烷溶解在溶剂中,优选溶解在乙醚中,并添加氢化物,特别优选用以等摩尔量使用的氢化铝锂还原,优选在干燥的装置中,此外优选在保护气体例如氮气下,和优选在彻底搅拌下,使其在5℃-30℃的温度下,特别优选在室温20℃(缩写为RT)下,历经1至24小时的时间,优选在12小时期间反应,然后从溶液中分离获得的固体成分,以合适的方式通过过滤或借助于离心,以合适的方式缓慢地经由气相除去溶剂,以实现产物的良好结晶,优选在减压下和任选在降低温度的情况下,并且在还原时形成的三苯基甲锗烷基硅烷作为结晶固体获得。
因此,本发明的主题是新的化合物三苯基甲锗烷基甲硅烷(Ph3Ge-SiH3)。
用于制备三苯基甲锗烷基甲硅烷的方法同样是主题,其中将三氯甲硅烷基三苯基甲锗烷溶解在溶剂中,并添加氢化物还原,由此获得产物溶液。
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