[发明专利]真空泵和其加热装置

说明书

提供适合实现作为真空泵的生成物堆积防止对策使用的加热机构的寿命延长的真空泵和其加热装置。借助旋转体的旋转将气体排气的真空泵具有用来将气体排气的排气流路和将排气流路加热的加热机构（HM）；相对于一对配线线路（WL1、WL2）将多个电阻发热体（RE）并联地连接而构成加热机构（HM）。此外，加热机构（HM）具备：电流测量机构（101），测量在多个电阻发热体（RE）流动的电流值的总和；判别机构（102），基于由电流测量机构（101）的测量值判别多个电阻发热体（RE）的故障状况；以及输出机构（103），输出由判别机构（102）判别出的故障状况。

技术领域

本发明涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中的处理腔室、其他真空腔室的气体排气机构利用的真空泵和其加热装置，特别适合于实现作为真空泵的生成物堆积防止对策使用的加热机构的寿命延长。

背景技术

以往，作为这种真空泵，例如已知有专利文献1所记载的真空泵。该文献1所记载的真空泵具备由转子（4）和旋转叶片（6）构成的旋转体，并且构成为，通过由该旋转体的旋转带来的与固定部件的相互作用、具体而言旋转叶片（6）与固定叶片（7）的相互作用、以及转子（4）的外周面与螺纹槽定子（8）的相互作用，将气体分子从吸气口向排气口（2）侧移送，将由半导体制造装置使用后的工艺气体排气。

可是，前述工艺气体中含有的升华性气体因温度与其分压的关系而成为气体或固体，在温度较低的环境或分压较高的环境中容易固化。因此，在专利文献1的真空泵中，将用来将气体排气的排气流路整体中的特别是成为升华性气体容易固化的环境的部位、具体而言由转子（4）的外周面和螺纹槽定子（8）形成的排气流路（R2）的出口附近集中地用多个电阻发热体（13）加热。

但是，在以往的真空泵中，作为前述那样的在加热中使用的电阻发热体（13）的具体的结构，采用如图6那样将多个电阻发热体RE串联地连接的电路结构。因此，如果例如在某一个电阻发热体RE中发生断线等的故障，则在全部的电阻发热体RE中不流过电流，具备多个电阻发热体RE的加热机构的动作（由电阻发热体RE带来的排气流路出口附近的加热动作）完全停止/停机（down），有加热机构的寿命较短的问题。

在如前述那样加热机构的动作完全停止/停机的情况下，在排气流路（R2）的出口附近容易发生升华气体的固化，因固化的生成物（升华气体）的堆积而排气效率下降等，难以维持真空泵的排气性能。因此，有可能必须将真空泵的真空抽吸的对象装置、例如半导体制造装置中的处理装置的运转立即停止。

以上的说明中的括号内的附图标记是在专利文献1中使用的附图标记。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－31153号公报。

发明内容

发明要解决的课题

本发明是为了解决前述问题而做出的，其目的是提供适合实现作为真空泵的生成物堆积防止对策使用的加热机构的寿命延长的真空泵和其加热装置。

用来解决课题的手段

为了达成前述目的，本发明是一种借助旋转体的旋转将气体排气的真空泵，其特征在于，具有：排气流路，用来将前述气体排气；以及加热机构，将前述排气流路加热；相对于一对配线线路将多个电阻发热体并联地连接而构成前述加热机构。

在前述本发明中，其特征也可以是，具备：电流测量机构，测量在前述多个电阻发热体流动的电流值的总和；以及判别机构，基于由前述电流测量机构的测量值，判别前述多个电阻发热体的故障状况。

在前述本发明中，其特征也可以是，具备将由前述判别机构判别出的前述故障状况输出的输出机构。

在前述本发明中，其特征也可以是，前述故障状况是前述多个电阻发热体中的故障的数量。