[发明专利]真空泵和其加热装置在审

专利信息
申请号: 201880034241.4 申请日: 2018-05-23
公开(公告)号: CN110621885A 公开(公告)日: 2019-12-27
发明(设计)人: 大立好伸;前岛靖;高阿田勉 申请(专利权)人: 埃地沃兹日本有限公司
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04
代理公司: 72001 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 朱美红;傅永霄
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 加热机构 电阻发热体 真空泵 电流测量机构 故障状况 排气流路 判别机构 气体排气 测量 加热装置 配线线路 寿命延长 输出机构 地连接 旋转体 并联 加热 堆积 输出 流动
【权利要求书】:

1.一种真空泵,借助旋转体的旋转将气体排气,其特征在于,

具有:

排气流路,用来将前述气体排气;以及

加热机构,将前述排气流路加热;

相对于一对配线线路将多个电阻发热体并联地连接而构成前述加热机构。

2.如权利要求1所述的真空泵,其特征在于,

具备:

电流测量机构,测量在前述多个电阻发热体流动的电流值的总和;以及

判别机构,基于由前述电流测量机构的测量值,判别前述多个电阻发热体的故障状况。

3.如权利要求2所述的真空泵,其特征在于,

具备将由前述判别机构判别出的前述故障状况输出的输出机构。

4.如权利要求2或3所述的真空泵,其特征在于,

前述故障状况是前述多个电阻发热体中的故障的数量。

5.如权利要求1~4中任一项所述的真空泵,其特征在于,

前述一对配线线路和前述多个电阻发热体借助连接器而被连结。

6.如权利要求1~5中任一项所述的真空泵,其特征在于,

前述一对配线线路中的至少某一方的配线线路的两端部借助连结机构而被连结。

7.一种真空泵的加热装置,其特征在于,

具备构成权利要求1~6中任一项所述的真空泵的前述加热机构。

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