[发明专利]激光加工装置

说明书

激光加工装置(1a)基于激光扫描装置(5)的目标位置及平移加工台的目标位置对激光扫描装置(5)及平移加工台进行控制，该激光扫描装置(5)对被加工物上的激光束(3)的照射位置进行变更，该平移加工台对激光扫描装置(5)和被加工物的相对位置进行变更，在激光加工装置(1a)中具有：大于或等于2个控制用位置传感器，它们为了针对平移加工台的至少1个驱动轴对该驱动轴方向的位置进行检测，而设置于不同的位置；以及偏摆角度运算处理部，其基于由控制用位置传感器检测到的平移加工台的检测位置，求出偏摆角度。

技术领域

本发明涉及具有对激光束的照射位置进行变更的激光扫描装置及对激光扫描装置和工件的相对位置进行变更的平移加工台的激光加工装置。

背景技术

在现有的激光加工装置中，设置与平移加工台的轴线平行的基准面，将对与平移加工台的轴线正交的方向的距离进行测量的1对传感器安装于平移加工台的相互分离的位置，对基准面和平移加工台的距离进行测量，对平移加工台从原本的姿态脱离而产生的定位误差即阿贝误差进行推定(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：国际公开第2001/052004号

发明内容

在如专利文献1中所记载这样的激光加工装置中，在基准面的笔直及基准面和轴线的平行中存在几何偏差的情况下，在通过传感器得到的测量结果附加有基准面的几何偏差，无法准确地对平移加工台的绕上下轴的旋转角度即偏摆角度进行检测。由于检测到的偏摆角度存在偏差，因此加工点的阿贝误差的推定也变得不准确，存在即使进行校正也得不到充分的校正效果这样的问题。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于得到即使平移加工台引起偏摆，也能够得到良好的加工精度的激光加工装置。

为了解决上述的课题，并达到目的，本发明是一种激光加工装置，其基于激光扫描装置的目标位置及平移加工台的目标位置对激光扫描装置及平移加工台进行控制，激光扫描装置对被加工物上的激光束的照射位置进行变更，平移加工台对激光扫描装置和被加工物的相对位置进行变更，该激光加工装置的特征在于，具有大于或等于2个控制用位置传感器，它们为了针对平移加工台的至少1个驱动轴对该驱动轴方向的位置进行检测而设置于不同的位置。并且，本发明具有偏摆角度运算处理部，其基于由控制用位置传感器检测到的平移加工台的检测位置，求出偏摆角度。

发明的效果

根据本发明，具有下述效果，即，实现即使平移加工台引起偏摆，也能够得到良好的加工精度的激光加工装置。

附图说明

图1是本发明的实施方式1所涉及的激光加工装置的斜视图。

图2是实施方式1所涉及的XY工作台的正视图。

图3是实施方式1所涉及的XY工作台的侧视图。

图4是实施方式1所涉及的表现出X轴偏摆的XY工作台的俯视图。

图5是实施方式1所涉及的表现出Y轴偏摆的XY工作台的俯视图。

图6是实施方式1所涉及的上层工作台处于中央的情况下的XY工作台的俯视图。

图7是实施方式1所涉及的移动了上层工作台以使得能够对加工点进行加工时的XY工作台的俯视图。

图8是实施方式1所涉及的X轴偏摆发生时的XY工作台的俯视图。

图9是实施方式1所涉及的X轴偏摆和Y轴偏摆发生时的XY工作台的俯视图。

图10是在实施方式1所涉及的激光加工装置中将控制部通过框图表示的图。

图11是本发明的实施方式2所涉及的表现出X轴主编码器上的激光测长的XY工作台的俯视图。