[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其具有对被加工物上的激光束的照射位置进行变更的激光扫描装置；以及至少具有大于或等于2个驱动轴、对所述激光扫描装置和所述被加工物的相对位置进行变更的平移加工台，基于所述激光扫描装置的针对每个所述驱动轴的目标位置及所述平移加工台的针对每个所述驱动轴的目标位置而对所述激光扫描装置及所述平移加工台进行控制，

该激光加工装置的特征在于，具有：

控制用位置传感器，其为了对所述驱动轴各个方向的所述平移加工台的位置进行检测，针对每个所述驱动轴在不同的位置各设置了大于或等于2个；

偏摆角度运算处理部，其基于由所述控制用位置传感器检测到的所述平移加工台的检测位置而求出所述平移加工台的针对每个所述驱动轴的偏摆角度；

偏摆加工误差校正单元，其基于由所述控制用位置传感器检测到的所述平移加工台的针对每个所述驱动轴的检测位置、加工点的针对每个所述驱动轴的位置、所述控制用位置传感器的配置及所述偏摆角度，对所述加工点处的所述照射位置的针对每个所述驱动轴的误差进行推定，通过针对每个所述驱动轴的所述误差对所述激光扫描装置的针对每个所述驱动轴的目标位置进行校正；

视觉传感器，其对测量点进行拍摄；

视觉测量处理部，其求出所述测量点的位置；以及

偏摆测量误差校正单元，其根据所述检测位置及所述偏摆角度对所述测量点的测量误差进行推定，通过所述测量误差对所述测量点的位置进行校正。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述偏摆角度运算处理部针对每个所述控制用位置传感器而具有表示与所述检测位置相对应的校正量的传感器校正表格，使用所述传感器校正表格对所述检测位置进行校正，基于校正后的所述检测位置而求出针对每个所述驱动轴的所述偏摆角度。

3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述测量点是设置于所述被加工物的定位标记，

所述激光加工装置还具有工件校正处理部，该工件校正处理部使用基于由所述偏摆测量误差校正单元校正后的所述测量点的位置而求出的参数，对所述激光扫描装置的针对每个所述驱动轴的目标位置及所述平移加工台的针对每个所述驱动轴的目标位置进行校正。

4.根据权利要求1或3所述的激光加工装置，其特征在于，还具有：

光学系统应变校正参数计算部，其基于将所述测量点作为多个加工点时的由所述偏摆测量误差校正单元校正后的所述测量点的位置，而决定光学系统应变校正参数；以及

光学系统应变校正处理部，其基于所述光学系统应变校正参数，对所述激光扫描装置的针对每个所述驱动轴的目标位置进行校正。

5.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述平移加工台具有多个所述被加工物的保持台，

所述偏摆角度运算处理部针对每个所述保持台而求出所述偏摆角度。